我国硅单晶生长设备的现状与发展.pdfVIP

电 子 工 业 专 用 设备 趋势与展望 Eguipment for Electronic Products Manufacturing 我国硅单晶生长设备的现状与发展 李留臣 冯  ! ! # 常州华盛天龙机械有限公司 江苏常州213200 ! ! 摘 要 在世界太阳能光伏发电产业发展的带动下 我国的太阳能光伏发电产业得到了高速度的 发展!相关支撑业的市场迅速扩大!在整个产业链中!作为太阳能电池材料制备的关键设备- 硅单 晶生长设备发挥了至关重要的作用 对于太阳能光伏发电产业的持续发展 硅单晶生长设备仍将 ! 要发挥重要的作用 关键词 硅单晶生长设备 单晶炉 太阳能电池 光伏发电 ! $ $ $ 进入 21 世纪， 世界太阳能光伏发电产业发展 止，我国的晶体生长设备 - 单晶炉己经能够满足稳 速度迅速增大，在国际市场的拉动下，我国太阳能 定生产 200 mm 集成电路级的硅单晶，能够满足规 光伏发电产业发展迅速，近 3 年来，我国太阳能电 模生产 212 mm （8.5 英寸）的太阳能光伏电池级硅 池年产量由原来占世界份额的 1%发展到占世界份 单晶的能力； 目前， 一些设备生产单位正在研制 额的 10%以上，这些与太阳能光伏产业链上各环节 300 mm （12 英寸）的硅单晶炉。 工程技术人员的辛勤工作， 辛苦创业密不可分，做 出了卓越的贡献，而作为材料制备关键设备的国产 化硅单晶生长设备 - 单晶炉更是起到了非常显著 300 2007 的贡献。 250 1998 m m 200 1996 / 1 历史回顾 径 1991 直 150 1983 圆 晶 100 1979 1961 年， 在中国半导体研究所林兰英院士的 1972 指导下我国研制成功第一台硅单晶生长设备一单 50 1961 晶炉，拉制单晶直径为 20 mm （0.8 英寸）； 1972 年， / 年 研制出能够生长 73 mm （1.5 英寸）的单晶炉；随着 图1 我国