原创力文档- 1、本文档共5页，可阅读全部内容。
- 2、原创力文档（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。
- 3、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击 这里二次下载。
- 4、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 5、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 6、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 7、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 8、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
磁控溅射掺铜TiO薄膜光学特性的分析
真 空 科 学 与 技 术 学 报 34 1
第 卷 第 期
74 CHINESE JOUＲNAL OF VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY 2014 1
年 月
磁控溅射掺铜TiO2 薄膜光学特性的分析
1 1 2 1 1 1*
胡 斌 董 林 林 钰 姚志强 田 莉 辛荣生
(1． 郑州大学材料科学与工程学院 郑州 450001 ;2． 河南教育学院化学系 郑州 450014)
Characterization of Optical Properties of
Cu-Doped TiO2 Thin Films
1 1 2 1 1 1*
Hu Bin ，Dong Lin ，Lin Yu ，Yao Zhiqiang ，Tian Li ，Xin Ｒongsheng
(1． School of Material Science and Engineering ，Zhengzhou University ，Zhengzhou 450001 ，China ;2． Department of Chemistry ，Henan Education
Institute ，Zhengzhou 450014 ，China)
Abstract The Cu-doped TiO2 films were synthesized by ＲF /DC multi-target ，magnetron sputtering on glass sub-
strates under the optimized condition． The impacts of the growth conditions ，including the Cu-content ，sputtering pow-
er ，and annealing ，on the microstructures and properties of the Cu-doped TiO2 films were evaluated． The films were
characterized with X-ray diffraction ，X-ray photoelectron spectroscopy ，and ultraviolet visible spectroscopy． The results
show that the Cu-content strongly affects the properties of the films． For example ，Cu-doping resulted in a red-shift of
the absorption edge of the anatase –phased TiO2 films ，with Cu + 2 implanted in its lattice as an acceptor impurity．
However ，high Cu-content produced an increased density of defects． We suggest that Cu ions
文档评论（0）