以tft-lcd 厂粉末废弃物资源化合成中孔洞材料及其二氧化碳气体 .pdf

國立交通大學環境工程研究所 碩士論文 以TFT-LCD廠粉末廢棄物資源化 合成中孔洞材料及其二氧化碳氣體捕獲之研究 Study of mesoporous silica material synthesized by TFT-LCD Waste Powder and the application for CO capture 2 研 究 生：李佳錡 指導教授：白曛綾教授 民 國 一百 年 六月 摘要 中孔洞二氧化矽 SBA-15 材料因其高孔徑大小、高壁厚，相較於 M41S 家族具有更好的熱穩定性。此類中孔洞材料由於合成時所使用 之三崁式界面活性劑 P123 為中性，相對於合成 M41S所使用之陽離 子型界面活性劑(CTAB)不僅在價格上較便宜外，在環境汙染程度上 也相對較低 。而光電廠之CVD 製程會產生大量含矽之廢棄粉末 ，因 此可進行資源再利用 製程中孔洞材料。本研究的重心即為嘗試將此含 矽之光電廢棄粉末， 以低溫萃取出之上澄液矽源 ，在常溫下合成類似 於 SBA-15 結構之中孔洞氧化矽材， 並於後續進行二氧化碳吸附測 試 。結果發現 以SiO : 0.02 P123: 263 H O: 16.2 NaOH: 2.22 H SO可 2 2 2 4 2 合成得到較佳之中孔洞材料 WP-Nano-0.02 ，其比表面積為661cm /g 、 3 孔洞大小為 9.1 nm及孔洞體積為 1.5 cm /g ，而由氮氣吸脫附曲線及 TEM 之鑑定，更確認其為中孔洞吸附材；而於二氧化碳測試後，其 吸附量可 達 80 mg/g 之飽和吸附量 ，較 以商用矽源製得之SBA-15及 MCM-41 之吸附量還高 。在價錢 成本估算部分中，使用廢棄物粉末合 成WP-Nano-0.02可相較於使用化學品合成 SBA-15-0.02節省 約40 % 的價錢，更為使用化學品合成 MCM-41 之四分之一的價錢。因此， 綜合成本考量和後端二氧化碳應用，使用此材料在未來二氧化碳捕獲 的應用上具有前瞻性 。 關鍵字 : 二氧化碳捕獲 、SBA-15 、廢棄物回收 、中孔洞材料 I Abstract The TFT-LCD photonic factory in Taiwan produces around 140,000 tones solid waste per year. It not only induces the treatment cost but also pollutes the environment. Therefore this study intends to recover the silica material from the TFT-LCD waste powder and use it for the manufacture of valuable nano-porous materials. The result show that by extraction with the NaOH solution, the TFT-LCD waste powder can be recovered and produces both silicate precursors for making nano-porous