脉冲激光对CCD成像器件破坏机理研究.pptVIP

脉冲激光对CCD成像器件的破坏机理研究;论文内容;CCD简介;CCD像素的截面构造; 行间转移方式型CCD的像素主要由光电二极管和垂直CCD组成，前者负责光电转换与电荷储存，后者负责电荷的转移。遮光金属钨用来防止光进入垂直CCD，多晶硅为垂直CCD的四相驱动电极。为了提高入射光的利用率，目前商品化的CCD图像传感器，在像素上面放置了一层微镜头结构，将入射至摄影面的光集中到光电二极管。 ;行间转移方式工作图：;项目研究的意义; 自从20世纪70年代起，国外就开始对光电探测器的辐照效应进行研究，但是公开报道的关于CCD的相关研究主要集中于高能粒子辐照CCD方面，是基于搭载在航天器上的CCD成像器件工作在高能粒子密度大的外太空的实验研究。国内也开展了大量的相关研究，主要工作是测量了CCD在不同波长的连续或脉冲激光辐照下的饱和与破坏阈值，但是对CCD的损伤或破坏机理的研究不够深入。 ;本文所做的工作及创新点; 创新点：以往的机理研究只是局限于在激光能量升到一定程度而把CCD各层造成不同程度的烧蚀之后，电极与衬底的短路，没有深入清楚的解释CCD的失效。本文从黑体像素的角度解释了CCD完全失效的根本原因。;破坏现象;白色不可恢复亮线;破坏机理分析;遮光钨;失效CCD不同层的围观损伤形貌; 从上面的几幅图看出，光斑处光电二极管已经被烧蚀，透明的