第4章电容式传感器08,09电子信息工程.pptVIP

第4章 电容式传感器 4.1 工作原理和结构 4.2 灵敏度及非线性 4.3 特点及应用中存在的问题 重点:1、电容式传感器的工作原理 2、电容式传感器的非线性度及其减小 难点:1、电容式传感器输出与输入的关系 2、电容式传感器的灵敏度及非性线度 概述 电容式传感器是实现非电量到电容量转化的一类传感器。 4.1 电容式传感器的工作原理和结构 工作原理：保持其中两个参数不变，而仅改变其中一个参数，就可把该参数的变化转换为电容量的变化，通过测量电路就可转换为电量输出。 4.1电容式传感器的工作原理和结构 电容式传感器类型 变极距型 变面积型 变介质型 变极距型可以测量微米数量级的位移， 变面积型只适用于测量厘米数量级的位移。 4.1电容式传感器的工作原理和结构 4.1.1 变极距型电容传感器 4.1电容式传感器的工作原理和结构 输出输入的关系 输出与输入非线性关系 此时C与Δd呈近似线性关系，所以变极距型电容式传感器只有 在Δd/d0很小时，才有近似的线性输出。 4.1电容式传感器的工作原理和结构 ◆由式(4-4)还可以看出，在d0较小时，对于同样的 Δd变化所引起的ΔC可以增大，从而使传感器灵敏度提高。但d0过小，容易引起电容器击穿或短路。 4.1电容式传感器的工作原理和结构 为防止击穿或短路方法： 极板间可采用高介电常数的材料（云母、塑料膜等）作介质。云母片的相对介电常数是空气的7倍，其击穿电压不小于1000 kV/mm，而空气的仅为3kV/mm。因此有了云母片，极板间起始距离可大大减小。同时传感器的输出特性的线性度得到改善。 4.1电容式传感器的工作原理和结构 4.1.2 变面积型电容式传感器 4.1电容式传感器的工作原理和结构 这种形式的传感器其电容量C与水平位移Δx是线性关系，因而其量程不受线性范围的限制，适合于测量较大的直线位移和角位移。 4.1电容式传感器的工作原理和结构 下图是电容式角位移传感器原理图。当动极板有一个角位移θ时，与定极板间的有效覆盖面积就改变，从而改变了两极板间的电容量。 4.1电容式传感器的工作原理和结构 4.1.3 变介质型电容式传感器 下图是一种变极板间介质的电容式传感器用于测量液位高低的结构原理图。 4.1电容式传感器的工作原理和结构 变介质型电容传感器有较多的结构型式，可以用来测量纸张，绝缘薄膜等的厚度，也可用来测量粮食、纺织品、木材或煤等非导电固体介质的湿度。 下图是一种常用的结构型式。图中两平行电极固定不动，极距为d0，相对介电常数为εr2的电介质以不同深度插入电容器中，从而改变两种介质的极板覆盖面积。 4.2 电容式传感器的灵敏度及非线性 讨论变极距型平板电容传感器的灵敏度及非线性。 由式 可知，电容的相对变化量为: 当 时，则上式可按级数展开，故得 4.2 电容式传感器的灵敏度及非线性 由上式可见，输出电容的相对变化量ΔC/C与输入位移Δd之间呈非线性关系。当 时，可略去高次项，得到近似的线性： 电容传感器的灵敏度为： 4.2 电容式传感器的灵敏度及非线性 如果考虑级数展开式中的线性项与二次项，则： 由此可得出传感器的相对非线性误差δ为： 4.2 电容式传感器的灵敏度及非线性 提高灵敏度，减小非线性误差，大都采用差动式结构。 4.2 电容式传感器的灵敏度及非线性 在 时，则按级数展开： 电容值总的变化量为： 电容值相对变化量为： 略去高次项，则： 4.2 电容式传感器的灵敏度及非线性 如果只考虑电容值相对变化量式中的线性项和三次项，则电容式传感器的相对非线性误差δ近似为 结论：电容传感器做成差动式之后，灵敏度提高一倍，而且非线性误差大大降低了。 4.4 电容式传感器的测量电路 4.5 电容式传感器的应用 重点:1、运算放大式电路 2、脉冲宽度调制电路