零阿贝误差的纳米三坐标测量机工作台和误差分析.pdfVIP

计量检测： 文章编号 （ ） １００４９２４Ｘ ２０１３０３０６６４０８ － － － 　 零阿贝误差的纳米三坐标测量机工作台及误差分析 ＊ ， ， ， ， 黄强先 余夫领 宫二敏 王晨晨 费业泰 （ ， ） 合肥工业大学仪器科学与光电工程学院 安徽合肥 ２３０００９ ： （ ） ， ， 摘要 为避免常规三坐标测量机 ＣＭＭ 中的阿贝误差 同时降低导轨运动误差对测量机测量不确定度的影响 研制了一 。 ， 导轨和 导轨采用共平面结构； 种在三维测量方向上同时符合阿贝原则的纳米 ＣＭＭ 工作台 该工作台做三维运动 ｘ ｙ 工作台三维测量系统的测量线正交于一点且正交点与测头中心点重合， 向和 向测量系统的测量线与 导轨面共 ｘ ｘ ｙ ｙ 。 ， ， ， 面 针对本工作台的特点 在参考常规三坐标测量机误差分析的基础上 详细分析了该工作台中各项误差的影响 给出 ， 。 。 了影响测量机不确定度的主要误差源 并对这些误差提出了修正方法 在研制的工作台上对一等量块进行了实验测试 ， ， ， 结果显示 一等量块工作面的平面度测量标准差为１１ｎｍ 台阶高度标准差为２１ｎｍ 其中台阶高度测量平均值与检定值 。 ， ， 相差 １ｎｍ 理论分析和实验结果表明 所研制的工作台从结构上避免了 ＣＭＭ 中多项误差源的影响 尤其是避免了阿 ， 。 贝误差的影响 可用于高精度的三维测量 ： ； ； ； 关 键 词 三 维纳米工作 台 纳米三 坐标 测量机 阿贝误差 误差修正 　 　 中图分类号： ； 文献标识码： ： ／ ＴＨ７２ ＴＨ７１１ Ａ ｄｏｉ１０．３７８８ＯＰＥ０６６４ 　　 　　 ＮａｎｏＣＭＭ ｓｔａｅｗｉｔｈｚｅｒｏＡｂｂｅｅｒｒｏｒａｎｄｉｔｓｅｒｒｏｒａｎａｌｓｉｓ － 　 　 　 　 　 　 　 　 　 ｇ ｙ ＊ ， ， ， ， ＨＵＡＮＧ Ｑｉａｎ ｘｉａｎ ＹＵ Ｆｕｌｉｎ ＧＯＮＧ Ｅｒｍｉｎ ＷＡＮＧ Ｃｈｅｎｃｈｅｎ ＦＥＩＹｅｔａｉ