旋转法下降炉的智能控制 intelligent control of crystal furnace with rotational bridgeman growth.pdfVIP

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2017-08-18 发布于上海
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旋转法下降炉的智能控制 intelligent control of crystal furnace with rotational bridgeman growth

盟剑董堡鱼皇三茎：墨醚勰缸团旋转法下降炉的智能控制姚婕，雷小博，王建春 (西安理工大学，陕西西安710048) 摘要：随着我国人工晶体材料工业的飞速发展，急需性能优良、稳定性好、自动化程度高的晶体生长设备。提出了炉室上升坩埚旋转技术，不仅利于提高生长晶体的品质，而且生长设备简单，易于实现自动化控制。采用性能优良的AD斗C812微控制芯片进行控制，是晶体生长设备控制方法的有益探索。该设备自动化程度较高，速度运行可靠，维护简单方便，具有推广价值。关键词：下降法；晶体生长炉；坩埚加速旋转技术；控制；AD¨C812 中图分类号：TF806．9 文献标识码：B Controlof FurnacewithRotational Intelligent Crystal B Growth ridgeman YAO Jianchun Jie，LEIXiaobo，WANG 1 of 7 (xi’allUniversityTechnology，Xi’all0048) for Abstract：Withthe ofman—made is demand crystal rapiddevelopment industry，thereincreasing of and ascent crystalgrowth good stabilityhi曲automatization．Furnace equipmentperformance，fine andcruciblerotation are benefitnot butalso techniquepresented，whichonlycrystalquality equipment an andautomatic controlADuC812 isused is useful simplicity contr01．Tinychip successfully，which tocontrolmethodof hasthecharacteristicof exploration crystalgrowthequipment．The equipment maintenance． automatization，reliable high velocity，handy Keywords：VBM；Crystal growingfurnace；ACRT；Control；ADI山C812