氧化液ph值对低温沉积ni-zn铁氧体薄膜的结构和磁性能的影响 influence of ph value of oxidizing solution on the microstructure and magnetic properties of ni-zn ferrite films deposited at low temperature.pdfVIP
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氧化液ph值对低温沉积ni-zn铁氧体薄膜的结构和磁性能的影响 influence of ph value of oxidizing solution on the microstructure and magnetic properties of ni-zn ferrite films deposited at low temperature
氧化液pH值对低温沉积Ni—Zn铁氧体
薄膜的结构和磁性能的影响
胡清平1,董泽华1,柏任流1,沈翔2,冯则坤2,黄诞枫2
(1.华中科技大学化学系,湖北武汉430074;
2.华中科技大学电子科学与技术系,湖北武汉430074)
薄膜具有尖晶石结构铁氧体的特征衍射峰。当氧化液的pH值从8.0增大到8.8时,薄膜的沉积速率和表面粗糙
高饱和磁化强度和1.218kA/m的低矫顽力。这种优良的软磁薄膜可应用于射频感应器和微波频段的电磁干扰抑
制器。
关键词:Ni.zn铁氧体薄膜;旋转喷镀法;微结构;磁性能
中图分类号:TM277+.1;0482.4+3文献标识码:A
the
Influenceof Valueof Solutionon
pH Oxidizing
Films
and ofNi-ZnFerrite
MagneticProperties
atLow
DepositedTemperature
HU Ze—hual,BAIRen.1iul,SHEN Ze—kun2,HUANG
Qing.pin91,DONG Xian92,FENG Dan—fen92
and 4300r)4.China,
1.DepartmentofChemistry,HuazhongUniversityofScienceTechnology,Wuhan
Scienceand
ofElectronic University
2.Department Technology,Huazhong
and 43007ZChina
ofScienceTechnology,Wuhan
ferrite
Abstract:Ni--Znfilmswiththicknessof were methodat90COH
1-2tam spin·-sprayplating
preparedby
the of of
subs仃atesfrom solution andthe solution
glass deoxidizing FeCl2+NiCl2+ZnCl2oxidizing CH3COONH4+
showsthatthediffractionofthe filmare with
NH3H20+NaN02.XRD peaks
pattern deposited corresponding
ofthe the valueof
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