原创力文档氧流量对tio_2薄膜光电性质的影响 influence of oxygen flux on photoelectric properties of tio_2 thin film prepared by dc magnetron sputtering.pdfVIP
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氧流量对tio_2薄膜光电性质的影响 influence of oxygen flux on photoelectric properties of tio_2 thin film prepared by dc magnetron sputtering
《半导体光电》2010年2月第31卷第1期 杨兵初等： 氧流量对TiO。薄膜光电性质的影响
氧流量对Ti02薄膜光电性质的影响
杨兵初，夏学文，曾礼丽，文 武
I中南大学物理科学与技术学院．长沙410083)
摘 要： 采用直流反应磁控溅射法在FTO基底上制备了Ti0：薄膜，研究了在不同氧流量条
件下Ti02薄膜的拉曼光谱、表面形貌和透射光谱，并将Ti0：薄膜用N719染料进行敏化，制备了染
料敏化太阳电池，测试了电池的FV特性曲线。实验结果表明：随着氧流量的增加，电池的短路电
流和光电转换效率先增加而后降低，在15cm3时达到最大；薄膜为锐钛矿和金红石的混合晶体结
构；氧流量对薄膜的表面形貌影响不大，薄膜都表现出疏松多孔的表面结构。
关键词： 氧流量；TiOz薄膜；直流反应磁控溅射；染料敏化；太阳电池
Influenceof FluxonPhotoelectricof
Oxygen Properties
ThinFilm DC
Ti02 Preparedby MagnetronSputtering
YANG Wu
Bingchu，XIAXuewen，ZENGLili，WEN
(Schoolof Scienceand South
Physics Technology，Central 410083．CHN)
University，Changsha
thinfilmswere onFTOsubstratesIX：reactive
Abstract：Ti02 deposited by magnetron
atdifferent fluxes．ThefilmswerecharacterizedRaman
sputtering oxygen by spectroscopy，
surface andtransmission curvewastestedfor solar
the
morphology spectra．}y dye-sensitized
with
cellswhichwere with filmssensitizedN719．Theresultsshowthat the
preparedTi02 by
increaseof flux，theshort—circuit andthesolar conversion
oxygen photocurrent energy efficiency
at thendecrease．Andwhenthe fluxis15 and
first，but cm3，bothJsc
(7／)increase oxygen 17
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