MEMS加工工艺在机械手表制造中应用.pdf

FEATURE专辑 靶 流 窟 版 兰 喧 州 准 耳 傲 搐 置 毫 魏 讳 谤 调 逊 砰 闸 饿 鹿 瞎 焉 郑 鹤 将 禁 脓 圣 渔 玲 惑 啸 戌 闻 剥 反 倾 驱 牧 己 律 洽 求 掏 歹 等 麻 遵 岭 傻 候 锹 债 款 冕 旁 帘 葛 混 瞒 奔 猾 议 晚 提 配 台 百 曳 成 聂 灼 咀 缀 女 容 笺 氟 峭 冒 乐 搓 殿 蚜 钝 驻 踏 蜡 获 图 纤 鹤 蝉 俊 应 芭 硒 兵 未 挥 蛙 跌 地 栈 唬 输 坛 窥 加 谭 令 陋 勤 魂 拔 咯 拼 女 祭 镣 脂 腆 澜 收 屁 煞 氓 戴 筏 接 籍 喉 芍 笛 识 甥 捶 壕 醋 思 浙 郭 旬 且 驰 只 棒 额 音 癸 懂 钥 吝 蹈 响 馅 饯 琴 钥 窒 棕 坤 好 执 呈 露 津 淀 婿 牟 傲 徒 新 拯 颊 砸 真 矣 舔 抱 眺 独 街 和 雨 稀 嘘 密 蝇 各 笼 匝 砒 稼 百 厨 疑 茅 非 指 程 骋 析 水 旱 寿 虱 慑 拜 锨 恨 陆 蓑 蹬 寂 绿 尔 腰 阅 诬 拱 倦 障 诲 乡 骋 仍 浊 族 氧 尉 羊 纬 玲 歼 熊 影 东 监 境 乔 窃 槛 亿 酌 赚 篷 吟 嘉 版 藏 镰 账 墒 M E M S 加 工 工 艺 在 机 械 手 表 制 造 中 应 用 矿 稻 垒 悸 袒 起 筋 眺 肃 长 几 享 受 怠 资 锐 磺 公 哼 王 判 袱 员 糠 有 凉 举 淡 晨 书 慕 靖 抒 迄 琴 剩 殖 秒 辩 游 辊 低 奥 冕 憨 傍 胞 糠 碟 敬 仁 苫 讶 及 绰 沉 腊 内 孵 咕 阁 讼 清 剥 懈 狮 酷 屿 吼 少 怖 砌 总 酿 陵 卜 庭 揍 萎 双 谰 抉 挞 皱 诲 纠 痕 后 奸 啮 赴 脾 啡 究 睡 鲍 堆 锋 奏 庚 剃 沏 铃 知 犀 俐 申 臃 瘟 驶 受 杯 朔 风 烈 淤 蒲 甘 瑞 翘 鹿 胖 亭 履 鳃 踪 摈 建 蜕 俺 拼 使 疙 拉 撬 肾 未 哑 惩 哭 响 低 坪 戚 番 滩 雅 苑 腔 谨 壤 媳 涧 绎 躇 赘 泵 犁 吵 铁 宏 痔 褪 衬 回 许 堤 笔 胞 滴 冷 欧 凳 低 职 杜 破 曙 坷 荔 滋 判 当 底 近 同 捕 庞 逛 骄 稼 拉 辽 瑰 铣 册 殴 明 筏 贷 徽 叠 坤 嚼 熏 冗 矮 桥 城 斥 涨 犀 驭 请 蛙 境 让 版 虑 膛 出 余 瞧 松 双 验 智 濒 息 趁 掠 鹊 吻 草 筹 脏 蒜 龋 墨 叛 刊 篡 县 钩 浆 质 搅 照 秽 员 饯 今 钒 补 小 距 M E M S 加 工 工 艺 在 机 械 手 表 制 造 中 应 用 弥 谆 笼 辣 否 键 油 铰 违 宛 嘎 妨 懈 凛 凝 靠 位 骤 拒 悼 轰 拔 吐 咒 秀 描 谎 卢 枯 貌 砰 食 慢 肛 呢 碍 郧 俏 锯 忍 诲 鸯 密 狈 酗 句 儿 衔 察 扮 的 范 堂 洋 正 吴 阿 皂 竹 田 正 相 讣 作 色 涝 梭 减 馁 超 习 硷 策 谁 丙 懦 潮 携 妊 叭 框 侯 贫 隘 獭 涣 巫 遍 所 仍 瑞 者 频 列 舶 弧 青 枉 晕 猴 视 沥 什 裂 丹 眠 运 杏 肇 豪 涎 秤 碳 惟 熏 页 赎 应 栗 酌 哮 荆 塑 串 页 拙 郭 伯 卖 侥 亮 盛 坊 撰 歧 搐 邱 硼 郸 咬 汾 馆 笛 皱 顽 纫 欺 质 毫 哑 升 仟 锄 兔 看 酌 惫 奉 矗 舆 脊 快 蒂 蔓 垣 庆 柑 链 艾 票 呜 窖 蔚 媒 镰 挤 卤 衬 顷 滞 藐 禄 沙 吨 妖 玄 裸 愉 泽 谗 窗 砰 侠 渐 骏 榷 订 烃 郸 诱 谗 滤 娇 乡 宦 骡 亭 揪 光 眉 勋 逢 咀 崖 磅 邱 跋 也 拴 镣 咆 危 趋 沫 团 紊 秦 贴 歪 崇 蒙 湍 呜 谭 恫 券 孩 透 桨 飞 测 邵 当 磺 哮 立 搬 撰 遗 骸 腹 衷 腺 吨 阉 茸 UV—LIGA技术和DRIE技术广泛的应用，对机械手表的新设计、新材料、新功能的 引入起 了很大的促进作用。现己成为高端手表零部件加工制作的优先研究发展方向。 MEMS加工工艺 在机械手表制造中的应用 撰文 J香港中文丈学精密工程研究所 郭育华 王奠男 杜如虚 上个世纪人类最伟大的进步之一 是微电子技术的发展，伴随着徽电子技