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磁悬浮转子微陀螺设计技术
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andPrecision
2004年6月 0ptics Engineering Jun.2004
文章编号1004—924X(2004)03一o001一05
磁悬浮转子微陀螺的设计技术
张卫平,陈文元,吴校生,赵小林,崔 峰,黄晓刚,刘 武
(上海交通大学徼纳米科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室
微米/纳米加工技术国家级重点实验室,上海200030)
cr0EIectronicMechanical
原理,并给出了相应
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