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EMS麦克风的应用优势加速 取代传统驻极体麦克风 ◆ Roland HeIm博士 MEMS麦克风外形较小，与目前广泛采用的驻极体麦克风相比，具备更强的耐热、抗振和防射频干扰性 能。强大的耐热性能允许其采用全自动SMT生产工艺，而大多数驻极体麦克风则需手工焊接。这不仅能简化 生产流程，降低生产成本，而且能够提供更高的设计自由度和系统成本优势。 愿景：完全集成的-II芯片高级曼克风童奠系统 想象一下尺寸不到手表大小并带有集成麦克风的微型 半导体传感器替代传统传感 单芯片手机。想象一下内置麦克风的单芯片蓝牙耳机。 器并打开新的应用领域 想象一下比普通麦克风小的多并带有集成回声抵消和 噪声消除系统的麦克风。 MEMS及其它半导体系统包含光 新型MEMS (微型机电系统)技术的市场潜力包括麦 学、电磁、射频、机械和微流体工作 克风还有待挖掘。但是第一批采用这种技术的产品~Zl3MEMS 原理。基于这些系统的传感器有温 麦克风已经在多种应用中体现出了诸多优势．特别是中高 度、磁场、指尖、加速度、压力或气 英飞凌科技股份公司硅 端手机。 基麦克风项目经理 流传感器。 基于MEMS技术的压力传感器包 括复杂的汽车轮胎压力监测系统 简 单的用于测高计和MEMS麦克风的消 费设备压力传感器。 半导体传感器不仅替代了传统传 感器，而且打开了新的应用领域，比 如消费设备 (游戏控制器或手机)中 的加速度传感器。 MEMS麦克风不仅取代了现有麦 克风，而且为应用带来了新的价值。 MEMS麦克风的工作原理是 将一个微型电容器蚀刻到半 导体中 景；：； 右：带有两枚芯片的麦克风的俯视图-仰视图以及展开图 MEMs‘圆形硅膜’以及As ‘黑点)芯片。 矢 发友兄 英飞凌麦克,m…,bM…M3一I U一内含两块 0 百网耿 26 一 CompoTech China ／200