等离子体参数测量与研究06300190017杨峰复旦大学物理系上海.DOC

等离子体参数测量与研究 06300190017 杨峰 （复旦大学物理系 上海） 【摘要】郎缪尔探针法在测量低气压直流辉光等离子体中被广泛应用。利用静电探针测量了等离子体的电子温度，分析了压强、功率对等离子体电子温度的影响。并测量了直流低气压放电现象的伏安曲线及气体击穿电压，验证了帕邢定律。 【关键词】辉光放电 击穿电压 帕邢定律 等离子体 电子温度 双探针 引言 等离子体（plasma），自由电子和带电离子为主要成分的物质形态。它广泛存在中，常被视为是除去外，存在的第四态有别于其他物态的主要特点是其中长程的电磁相互作用起支配作用，等离子体中粒子与电磁场耦合会产生丰富的集体现象。 实验原理 直流气体辉光放电放电特性与原理 气体低压放电可分为三个阶段：暗放电、辉光放电和电弧放电。其中各个阶段的放电在不同的应用领域有广泛的应用。这三个阶段的划分从现象上来看是放电强度的不同，从内在因素来看是其放电电压和放电电流之间存在着显著差异。直流放电形成辉光等离子体的经典结构如图一所示。其中正柱区是准中性的，电场很小，一般是1v/cm。这种电场的大小刚好足以在它的阴极端，保持所需的电离度。空气中正电柱等离子体是粉红色至蓝色。正电柱是一个长的均匀的辉光，是等离子体最均匀的部分，也是本实验中探针放置的位置。试验中以氩气作为产生等离子体的气源，在产生的氩等离子体中，除了存在大量的氩分子和电子的激发碰撞外，还存在着与电子的碰撞电离。 帕邢定律 上式称为帕邢定律，表示击穿电压Ub 是气压P 与极间距离d 乘积的函数。其中A和B为常数，γ表示一个正离子撞击阴极表面时平均从阴极表面逸出的电子数目（二次电子发射）。表明某一特定气体的击穿电压仅仅依赖于pd的乘积。 等离子体的参数 a：等离子体的密度：单位体积某带电粒子的数目。Ni表示离子浓度，Ne表示电子密度。 b：等离子体的温度：对于平衡态等离子体（高温等离子体）温度是各种粒子热运动的平均量度；对于非平衡等离子体（低温等离子体），由于电子可以达到各自的平衡态，故要用双温模型予以描述。一般Ti表示离子温度，Te表示电子温度。 c：德拜长度：等离子体内电荷被屏蔽的半径，表示等离子体内能保持的最小尺度，对任何在等离子体中建立电场的企图都会受到等离子体(中“自由”带电粒子)的阻止，这就是等离子体的德拜屏蔽效应。 徳拜长度： 等离子体参数的静电探针诊断原理 单探针测量电路 双探针测量电路 基于几个假设： 被测空间是电中性的等离子体空间（正柱区），电子密度ne和离子浓度ni相等，电子与离子的速度满足麦克斯韦速度分布； 探针周围形成的空间电荷鞘层厚度比探针面积的线度小，这样可忽略边缘效应， 近似认为鞘层和探针的面积相等； 电子和正离子的平均自由程比鞘层厚度大，这样可忽略鞘层中粒子碰撞引起的弹性散射、粒子激发和电离； 针材料与气体不发生化学反应； 针表面没有热电子和次级电子的发射。 对于插入等离子体的单探针有： 随即电流：， 根据玻尔兹曼定理：电子密度 式中：Vp为探针电压，Vs为等离子体电位所以，探针电流 设A1，A2 分别为探针1，探针2 的表面积，则探针间的电压： V=V1-V20 若我们定义i1+,i1-,i2+,i2-分别为探针1和探针2的离子电流和电子流，则探针系统浮动的条件为： i1+ + i1- - i2+ - i2- = 0 (1) 在整个闭路电路中 I = i1- - i1+ = i2+ - i2- (2) 令 jr 为随机电子流密度，则i1- = A1jrexp(eV1 / kTe) i2- = A2jrexp(eV2 / kTe) 由(1)、(3)式得 (I + i1+) / (i2+ - I) = A1 / A2·exp(eV/kTe) (3) 当 A1=A2 时，有 i1+ ≡ i2+ ≡ Ii0 可得 I = Ii0tanh(e V / 2kTe) (4) 则对于插入等离子体的双探针： 电子温度： 离子密度： 数据处理与分析 直流低气压放电现象观察和伏安曲线的测量 由图可见，直流辉光放电中，电极距离一定时，电流随电压的升高而增大，且气压升高时，电流增大的速率变快。还可以看到，随着气压升高，放电电压越小。 这是因为，在实验中气压越低，即气体分子密度越小，电子与气体碰撞平均自由程越大。这就意味着被电压加速的电子碰撞前所获得的动能越大，从而更容易使气体分子电离激发，进而更容易产生放电。故当