浅谈mems传感器的应用优势.docVIP

目 录 摘要： 2 关键词 ： 2 一、MEMS传感器概述 3 （一）MEMS电子技术的发展历史 3 （二）MEMS传感器的发展趋势 3 （三）传感器在汽车上的要求 5 （四）MEMS传感器的应用范围 6 （五）MEMS传感器的分类 7 二、MEMS传感器的应用优势 7 （一）MEMS压力传感器简介 7 （二）MEMS传感器和传统型传感器的对比 8 （三）MEMS传感器和传统型传感器在安全应用方面的比较 11 （四）MEMS微型传感器和传统型传感器在其他应用方面的比较 13 三、 MEMS传感器的应用现状和发展趋势 13 （一）MEMS传感器的应用现状 13 （二）未来MEMS传感器的发展趋势 15 文献参考 18 浅谈MEMS汽车传感器的应用优势 摘要： MEMS即微电子机械系统的制造，是从专用集成电路（ASIC）技术发展过来的，MEMS技术给汽车界带来的是体积更加小、技术更加先进、价格更加便宜、性能更加可靠的传感器。随着电子技术的发展，传感器也随之发展，在电子技术中传感器有着不可取代的地位。随着传感器的发展，传感器在应用的方面也更加广泛,比起传统型传感器MEMS传感器更加适用于现代汽车中。汽车传感器的性能指标其中包括：环境适应性、精度指标、可靠性、耐久性、响应性和制造成本等。现代汽车中，MEMS传感器和其他传统型传感器比起来，在各方面有着显著的优势。本文阐述了MEMS传感器的发展历史，并将MEMS传感器和传统型传感器分类，并以其中的MEMS压力传感器和部分MEMS传感器为例和传统型传感器做了简单对比，写了MEMS传感器相对于传统型传感器在各方面的优点。最后简述了智能集成化MEMS传感器在安全性能和应用的现状，并概述了智能集成化MEMS在国内外的发展状况。 关键词 ：MEMS传感器 传感器的应用 前言 MEMS即微机电子机械系统它的英文全称Micro Electromechanical System。现代电子系统中，用MEMS技术制作的微型传感器在人们接触的领域中有着十分广阔的应用前景，在现代汽车电子控制系统中，传感器负担着信息采集和传输的作用，它将采集到的信息传给电子控制单元ECU进行处理后，向执行器发出指令来进行电子控制的。传感器在电子控制系统中是非常重要的，可以说各个系统的控制过程都是要依靠传感器进行的信息反馈来实现自动控制工作的。随着电子技术的发展，传感器也跟着发展。在现代汽车中，传感器的使用数量和技术水平决定了汽车控制系统的功能，很多汽车以传感器技术的高低和传感器使用的数量决定整个汽车档次的高低。 一、MEMS传感器概述 （一）MEMS电子技术的发展历史 自20世纪50年代，人们在汽车上安装电子管收音机开始，这是汽车电子发展的初步雏形也是传感器的起源；到了60年代初，汽车上开始应用了硅整流交流发电机和晶体管调节器；到了60年代中期，汽车上才慢慢的开始采用晶体管电压调节器和晶体管点火装置； 直到进入70年代后期，电子工业才有了长足的进步，特别是集成电路、大规模集成电路和超大规模集成电路技术得到了巨大的发展。 到了20世纪 90年代，汽车电子技术发展进入第三个阶段，这是对汽车工业发展最有价值也是最有贡献的阶段，超微型磁体、超高效电动机和集成电路的微型化，为汽车上的集中控制奠定了基础。 目前，汽车电子技术已经发展到了第四阶段，即包括电子技术MEMS（含微机技术）、传感器技术、优化控制技术、网络技术和机电一体化耦合交叉技术等综合技术的大型系统。有些汽车的电子控制装置已经占到了整车造价的2/3，如宝马BMW750i全车就使用了30多块电脑，现代汽车上电子化的应用程度已经成为衡量汽车档次高低的主要标志。 （二）MEMS传感器的发展趋势 所谓MEMS技术就是一项在普通的硅基片上综合了传感器、执行器、机械单元和电子器件（并使之协调工作）的技术。MEMS技术所生产的全部最新的传感器系列已经开始慢慢大量的出现在今天的车辆上，将逐步取代传统型传感器，它们占据车辆中很大的份额。MEMS中主要包括微型传感器、微型机构、微型执行器和相应的处理电路等几部分，它是融合多种加工技术，并应用现代信息技术的最新成果上发展起来的高科技学科 MEMS技术的第一轮商业化浪潮始于20世纪70年代末80年代初，当时用大型蚀刻硅片结构和背蚀刻膜片制作压力传感器。由于薄硅片振动膜在压力下变形，会影响其表面的压敏电阻走线，这种变化可以把压力转换成电信号。后来的电路则包括电容感应移动质量加速计，用于触发汽车安全气囊和定位陀螺仪。 第二轮商业化出现于20世纪90年代，主要围绕着PC和信息技术的兴起。TI公司根据静电驱动微镜阵列推出了投影仪，而热式喷墨打印头现在仍然大。 第三轮商业化可以说出现于世纪之交，微光学器件通过全光开关及相关器件而成为光纤通讯的补充。该