掠出射X射线荧光光谱仪研制.PDFVIP

10 6 Vo l. 10 N o. 6 2 0 0 2 1 2 Op ics and P recision Eng ineering Dec . 2 0 0 2 1004924X( 2002) X 巩 岩, 尼启良, 陈 波, 曹健林 ( 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 应用光学国家 点实验室, 吉林 长春 130022) : X X , 55 X , Fe : 掠出射X 射线荧光; 光谱分析; 薄膜 : O43 1. 1 : A ( 25cm ) [ 5] 1 引 言 , X X GE_XRF ( Grazing_ , Ex i XRF) X , , , , , , X X [ 6] X , , 2 掠出射X 射线荧光分析原理 [ 1] , [ 2] X X [ 34] X , X X , , X X , , X , , X , , X , : , , , X X ; , ( 0 . 0025mm) , X :; : : ( DA00Q 02D) 598 10 , , X X , , , ; , X X ( k