第二章电子来源.ppt

第二章 电子源;掘妓斌柔御钵恼斟越坊茸硝蛊眷墓犁卷酵桅担鉴靶捏蛇坦彻辕崎城港撵盾第二章电子来源第二章电子来源;2.1 各种灯丝的物理原理;A 热发射;高熔点材料 （W灯丝） 具有低的功函数的材料 （LaB6灯丝）; 热灯丝： W灯丝 点状 W灯丝 LaB6或其它低功函数的材料，如CeB6;B 场发射;为了使场发射顺利进行，表面要保持干净，表面要保持没有污染物以及不能氧化，那么就要求在超高真空条件下(小于10-11Torr)进行操作，在这种情况下，场发射灯丝的使用温度可以与周围的温度一样，此过程被称为“冷场发射”； 与上述不同的是，也可以在较低的真空条件下通过加热针尖来保持它的清洁，这种热能能够在很大程度上帮助电子发射，因此电子用不着通过隧道效应穿过势垒，对这种所谓的“热场发射”，表面经过处理的ZrO2明显改善了发射特征，尤其是改善了灯丝的稳定性，因此这种所谓的“Schottky”发射变得越来越受欢迎，目前，一些新的灯丝如半导体p-n结场发射也引起人们极大的兴趣 ;2.2 电子束的特性;A 亮度;ie、d0以及a0都是在电子枪这一大背景下定义的，也就是说，电子在离开灯丝的一点后被聚焦，这样: 束流密度(单位面积上的束流)等于ie/p(d0/2)2 灯丝的立体角W=pa02 ;在这个方程中隐含着一个重要的结论，即对热灯丝而言，b随着加速电压的增加而线性增加，这也是发展中间电压(300-400kV)电子显微镜的一个重要原因 ;真实的数据 ： 对于一个100keV冷场发射灯丝，可以将1nA的电流作用到直径为1nm的样品区域上，如果将这个束流密度转换成电力单位，可以发现作用到这一小区域的束流密度几乎达到150MW/mm2，很显然，在如此之大的束流密度下观察样品无疑会使样品发生改变，也就是我们所说的辐照损伤 ;B 时间相干性和能量传播 ;必须给灯丝提供稳定的电源以获得一个稳定的高压，以便让所有的电子都有一个小的，从而使电子得到一个单一的波长。 ;C 空间相干性和灯丝尺寸;尽量减小灯丝尺寸，比如使用场发射电源； 使用较小的照明光栏，这样能够减小a0； 如果灯丝尺寸较大，(如发卡式W灯丝)，可以降低加速电压，增加 l;D 稳定性;特息聘埃巩憎藏整莽麻埂销屈良拆厢然担甘桑捍阉传桃属芋暮其叙临袖制第二章电子来源第二章电子来源;2.3 电子枪;A 热电子枪;发生热发射时，随灯丝电流 (if)的增加，温度随之升高，我们可以测量阴极发射电流ie，但我们不能把这一电流当成是束流，束流指的是电子离开样品后进入样品并且通过显微镜中的照明系统的电流。 当电子离开阴极时，与接地的阳极相比，它们具有负的高压电势，电子通过这一负的势能差被加速。;发射电流达到最大时，继续增加发射电流不能使进入显微镜的发射电流继续增加，这就是所谓的饱和条件，所有的热灯丝都要在饱和条件下或饱和点以下进行工作，在饱和点以上进行操作会降低灯丝寿命，除此之外得不到任何补偿。在饱和点以下进行操作则会明显降低进入样品的电子束流，降低所有的来自于样品的信号强度。;在饱和点进行操作除了对灯丝寿命有利以外，灯丝的亮度此时也达到最佳状态。 亮度方程中所使用的灯丝尺寸d0就是交叉点，交叉点处的会聚角就是a0，交叉点处的电子束流为发射电流ie。;;热灯丝在其前沿尖锐处或其周围开始发射电子 ;LaB6灯丝的电子发射是择优取向的 ;最好是在饱和点以下来使用LaB6灯丝，在保证不损失信号的前提下这种措施会大大延长灯丝的使用寿命，在有些场合欠饱和操作十分有用，因为晕环中的电子比亮圆盘中的电子具有更好的相干性。 LaB6灯丝比钨灯丝对热振动要敏感得多，因此在加热和冷却LaB6灯丝时要格外小心，需要慢慢地加热灯丝，一般每30秒钟向上加一格，尤其是刚安装的灯丝，更是要格外小心。 ;B 场发射电子枪(FEGs);电子通过第二个阳极进行加速，阳极场的复合作用实际上是使其成为了一个聚焦能力很强的静电透镜，并且产生了一个交叉点，这个透镜决定了有效光斑的尺寸和位置，但与磁透镜相比，它却显得不太灵活。;场发射灯丝需要清洁的表面，即使在超高真空条件下，针尖上也会产生污染，久而久之造成了发射束流的下降，因此需要提高提取电压，但可以采取放电的方法清除污染物，这在使用过程中是十分必要的。实现的方法由两种， 对针尖施加反相的电压将表面原子层上的电子吹掉， 将灯丝快速地加热到大约5000K，使污染物蒸发，在大多数场发射电镜中，当提取电压增加到一个设定的程度时将会自动地进行放电。 热场灯丝不形成表面污染物，因此不需要放电 ;2.4 电子枪之间的比较;LaB6灯丝的功函数F很低，由于F出现在Richadson方程中的指数项中，因此它对束流密度的影响十分关键 ;束流密度非常大， 亮度很高， 具有超小的束班尺寸， 电子束具