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牛津仪器EBSD新技术及应用介绍
大微束分析培训会
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牛津仪器牛津仪器EBSD新技术及应用介绍新技术及应用介绍
牛津仪器牛津仪器 新技术及应用介绍新技术及应用介绍
杨小鹏
牛津仪器·纳米分析部
精确
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快速
创造
强大
© Oxford Instruments 2014 CONFIDENTIAL Page 1
牛津牛津仪器最新仪器最新EBSD产品分类产品分类
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• NordlysMax2 W Ni
• 高速EBSD，适合做EBSD面分布图
• 高速、高灵敏度
• 实测速度最高达870点/秒
• 适合钨灯丝电镜和热场发射电镜
实测870点/秒，99%标定率
• NordlysNano
• 高角度分辨EBSD，适合做相鉴定
• 低束流、高灵敏度、高角度分辨率
• 高空间分辨率，适合分析纳米材料
• 磷屏分辨率达1344x1024像素
• 适合冷场发射电镜
为优化空间分辨率，在5KV条件下采集
© Oxford Instruments 2014 CONFIDENTIAL Page 2
传统的传统的EBSD带来的挑战带来的挑战
传统的传统的 带来的挑战带来的挑战
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• 牛津仪器的目标：深入了解并服务于市场
• 有何机遇与挑战？解决方案有效/无效？
• 我们怎么改进产品以满足这些需求？
• EBSD要用好并不容易
• 对样品要求高，制样难
• 难于操作 （参数复杂）
• 难于获得准确的标定，慢
• 数据后处理功能不足
• EBSD数据如何与实际的材料问题联系起来？
• 材料学
• 晶体学
• 机械物理性能
© Oxford Instruments 2014 CONFIDENTIAL Page 3
牛津仪器牛津仪器EBSD新技术进展新技术进展
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• AZtec 平台开始于2011年
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