用光致抗蚀剂作牺性层材料制作可动微机械-光学精密工程.PDFVIP

下载本文档

2
0
约5.27千字
约 5页
2017-08-19 发布于天津
举报
版权申诉

用光致抗蚀剂作牺性层材料制作可动微机械-光学精密工程.PDF

1、原创力文档（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。。
2、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击这里二次下载。
3、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

用光致抗蚀剂作牺性层材料制作可动微机械-光学精密工程

65 Vol.6,No. 5 199810 OPT ICS AND PRECISION ENGINEERING October, 1998 周明宝 ( 中国科学院光电技术研究所, 微细加工光学技术国家重点实验室　　成都610209) 崔　铮　　Pre ett D P ( 英国瑟福国家实验室微结构中心) ,, ,, , , 1 , , , , , [ 1] , , , , [ 2- 4] , , , , , , [ 5- 7] , (CVD) , , , , , CVD , , , : 1997- 07- 14 : 1998- 04- 07 5 : 75 , , 2 1, , : , , , ; , , , , , , , , , , , , , , , , , ; , , , , , , , , , , , , , , , Fig. 1 Movable microme- , , chanical structures fabrication process , , by using photore- sist as sacrificial , , layers 76 6 3 , , , , 24 , 20m, 4m, 16m 4562, AZ EMS SPINNEP MA750 , NORDIKO , 100nm , , , ; Fig. 2Micro springs fabricated by using photoresist as , sacrificial layers , , Fig.3M icro comb fingers fabricated by using