ccd同步协同技术在同步移相干涉术中的应用 application of multi-ccd-synergy technology in simultaneous phase-shifting interferometry.pdfVIP

第28 卷第4 期 光电技术应用 Vol.28 ，No.4 2013 年8 月 ELECTRO-OPTIC TECHNOLOGY APPLICATION August ，2013 ·光电系统· CCD 同步协同技术在同步移相干涉术中的应用 徐萌萌，左 芬 （淮阴师范学院物理与电子电气工程学院，江苏 淮安 223001 ） 摘 要：在同步移相干涉测量系统中，利用三部性能参数一致的CCD 同步协同分别提取空间移相产生的干涉图，来提高干 涉图的空间分辨率。选择多CCD 系统中的一个CCD 作为主机，产生同步信号来控制所有CCD 同时工作，设计了以视频同步信号 发生器CXD1217Q 为核心的同步信号发生和外协同电路，提出了一种基于OPA692 视频放大器的同步信号驱动和分发电路。 关键词：干涉测量；同步移相；抗振；多CCD 同步协同 中图分类号：TN709 文献标识码：A 文章编号：1673-1255（2013 ）-04-0018-03 ApplicationofMulti-CCD-synergyTechnologyinSimultaneous Phase-shiftingInterferometry XU Meng-meng, ZUO Fen (School of Physics and Electronic Electrical Engineering, Huaiyin Normal University, Huaian 223001, China) Abstract:In simultaneous phase-shifting interferometry system based on three-bucket algorithm, three CCD cameras of the same characteristics are utilized to pick up the three space interferograms synchronously, so that the space resolution of the interferogram can be improved effectively. One of the multi-CCD-synergy system is selected as the master to associate the sync-signals with the others. A central circuit of sync-signals generation and sig⁃ nal-cooperation is designed by the video sync-signal generator CXD1217Q as the main IC. Meanwhile, a circuit of the drive and distribution of sync-signals is presented by using the video operation amplifier OPA692. Keywords:interferometry; simultaneous-phase-shifting; anti-vibration; multi-CCD-synergy 近年来，光学干涉测量技术以其高精度、高可靠性， 的有：基于高速采集的单幅干涉图法、共光路式的干涉 在计量、工业产品质量测控等精密测量领域发挥了广 仪、随机移相干涉术、自适应抗振干涉术、同步移相干 泛而不可替代的作用。移相干涉采用数字波面相位检 涉术等。其中，同步移相干涉术利用光学元件对参考 测技术，对波面的分析精度可高达1%的波长[1-2] 。但 光和测试光产生的干涉光束进行分光、移相，并对多幅 是在实际的工程应用中，环境的扰动尤其是振动对干 移相干涉图进行同时采集，这既保证了移相干涉测量 涉测量的精度造成了较为显著的影响[1,3,4,5] ，这限制了 的精度，同时由于干涉