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2017-08-21 发布于上海
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cu离子交换波导的制备和折射率分布的表征 fabrication and characterization of the refractive index profiles of copper ion-exchanged waveguides.pdf

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cu离子交换波导的制备和折射率分布的表征 fabrication and characterization of the refractive index profiles of copper ion-exchanged waveguides

辨电子·嫩光 of V01．19No．4 Journal Apr．2008 第19卷第4期2008年4月 Optoelectronics·Laser Cu离子交换波导的制备和折射率分布的表征* G2 杰h’，王谦2，Farrell 董毅1，高艳君1，张乐天1，贾凌华1，郑 (1．集成光电子国家重点联合实验室，吉林大学电子科学与工程学院，吉林长春130012；2．AppliedOptoelec— tronics of Centre。DublinInstitute 8．Ireland) Technology，Dublin 摘要：用Cu离子交换技术制备了玻璃平面光波导，利用隔碾B法与离子浓度计算折射率的方法结合，得到了 C一和Cu2+相对应的折射率分布。当离子交换深度较深时，折射率变化主要是由CO+引起，且折射率变化较小；而当深度较浅时，折射率变化则是由Cu+和Cu2+共同作用的结果，而C一+的对折射率变化的贡献集中在玻璃表面。通过离子浓度计算得出5min交换时间的折射率分布呈现准梯度折射率分布形状，而随着离子交换时间的增加所制备的平面波导通过棱镜耦合无法测到波导模式．这可能是由于波导表面折射率下降所致，其机理可能是由于Cu+的外扩散和大离子直径的Cu2+在玻璃表面附近产生的应力在高温下退火被释放的共同结果。关键词：集成光学；Cu离子交换；折射率分布；玻璃平面波导中图分类号：TN252文献标识码：A 文章编号：1005—0086(2008)04-0443—04 Fabricationandcharacterizationoftherefractiveindex of profiles copperion-exchanged waveguides DONG Yil，GAO Le-tianl，JIA Jieh’， Yan-jan]，ZHANGLing-hua，ZHENG 、^矜NG G； Qian2。Farrell (1．State of ofElectronicScienceand Univer— KeyLaboratoryIntegratedOptoelectronies，College Engineering，Jilin Instituteof OpmelectmniesCentre，Dublin 8，Ire— sity，Changehun130012，China；2．Applied Technology，Dublin land) Ah建nd：Planar werefabricated index cau