碳化硅微粉.doc

碳化硅微粉是最主要的用于多线切割机上的磨料之一，适合于切割比较硬而且脆的材料。线切割是由导轮带动细钢线高速运转，由钢线带动砂浆形成研磨的切割方式。在线切割机的切割过程中，悬浮液夹裹着碳化硅磨料喷落在细钢线组成的线网上，依赖于细钢线的高速运动，把研磨液运送到切割区，对紧压在线网上的工件进行研磨式切割，随着碳化硅磨料对工件的一次次刻划，逐渐把多余的材料带走，是一种类似于研磨的滚动刻划的方法，这种机制也被称为：自由研磨切割加工。 切削的主要因素 由悬浮液以及碳化硅组成的砂浆中碳化硅的切割能力、细钢线的张力、细钢线运行速度和工件进给速度（工件紧压在细钢线上的下降速度）是影响刻划的主要因素。细钢线的高速运动促使悬浮液携带着带有棱角的碳化硅颗粒以不断滚动的方式进入切割区，从而产生很强切削能力，而且由于细钢线上加有一定的张力，使碳化硅磨料一般只沿钢线运动的方向逐渐对工件进行一次次刻划，使工件沿细钢线的缝隙被切成一个个薄片，碳化硅磨料对细钢线侧向影响很小，所以薄片表面并看不到切割痕迹 机械参数对晶片切割的影响 控制晶片质量的四个重要参数：钢线的张力、钢线的运动速度、 工件的进给速度、砂浆切割能力。 （1.）钢线的张力 钢线张力的产生机构是由两条带有力矩马达或配重的两条张力臂组成的，是一个由PLC控制反馈系统，以便适当地控制钢线的张力。一般钢线的张力对切割的影响主要有一下3种形式：①如果钢线的张力过小，将会导致钢线弯曲度增大，钢线的碳化硅携带能力降低，切割效率下降。钢线摆动幅度增大，工件的厚度变化加剧，线痕片增多，晶片变的参差不齐。②如果钢线张力过大，钢线的断线几率会大大增加。而且钢线携带的碳化硅颗粒会难以进入锯缝，造成硅片质量下降或切割效率降低。③张力系统使用一段时间以后，很容易造成零点偏移，使钢线张力变化过大，这样一是容易造成断线，二是晶片质量难以保证，要及时校正。 （2.）钢线的运动速度； 和钢线张力不同，一般机床的钢线运动可以根据需要分为往复运动和单向运动两种形式，在单向运动的情况下，钢线始终保持一个速度和方向运动；在钢线往复运动的情况下，钢线速度是一个先由零点沿一个方向很快（一般2到3秒）加速到规定速度，运行一段时间后，再沿原方向慢慢降低到零点，停顿短暂时间（一般为0.2秒），然后再慢慢地反方向加速到规定的速度，再沿反方向慢慢降低到零点停顿短暂时间（一般为0.2秒）的周期循环过程。线切割机的切割效率在碳化硅切割能力内是随着钢线速度的提高而提高的，超出碳化硅的切割能力范围过快容易造成钢线摆动幅度过大，碳化硅颗粒难以黏附，薄片表面质量下降。超出碳化硅的切割能力范围过慢，切割能力跟不上工件的进给，不仅断线几率增加，而且会造成薄片表面质量严重下降。因此，钢线速度必须和碳化硅的切割能力保持一致，这需要根据经验来判断。 （3.）工件的进给速度。 工件的进给速度是整个切割时间的主要决定因素。但是工件进给速度的大小不是一个独立的参数，而是与钢线的运动速度以及所用砂浆的切割能力息息相关的，而且有时候还要根据工件形状在进给的不同位置采用不同的进给速度（例如：为保证圆形工件的表面TTV，可以在开始和结束其横截面变小时提高工件进给，在中间位置其截界面变大时降低工件进给速度。）。所以考虑工件的进给速度时一定要兼顾考虑钢线的运动速度、砂浆的切割能力、工件的形状以及工件的截面大小等因素。其过快和过慢产生的后果正好与钢线运动速度相反 四、砂浆切割能力 因为线切割是研磨式切割，因此砂浆的切割能力是决定切割质量的主要因素。砂浆是由悬浮液和碳化硅按一定比例配制而成的混合物，衡量砂浆切割能力的条件主要包括砂浆的配比、砂浆的粘度、碳化硅的粒度分布、碳化硅的粒型等因素，而且这些因素都不是容易量化的，大部分只能靠经验来判断。 悬浮液的粘度 粘度是悬浮液的流变特性的衡量指标，它显示了悬浮液的流动特性，在线切割过程中碳化硅磨料是以与悬浮液组成的砂浆混合物的形态传输，悬浮液是碳化硅跟随钢线进入切割区的主要载体。所以，悬浮液的流变性在切割中的作用十分重要。根据以上分析，对悬浮液的粘度性质主要有以下4个方面要求：①保证碳化硅磨料分散均匀、不结团。②保证储料箱中的砂浆中的碳化硅磨料不沉淀。③要确保砂浆能在机床砂浆管路中的稳定流动。④确保砂浆能粘附在钢线上顺利进入切割区。 碳化硅微粉的存放 由于线切割产品的特殊性，对切割环境，切割参数，及对辅料物理、化学各项指标都要求非常严；结合我公司的生产经验，提供以下几点参考信息： 1、刃料在存放、使用、检验中应注意的： （1）做到有序存放，同一批号最好能够成排摆放，避免在取料过程中出错。 （2）碳化硅微粉具有较强的吸湿性，尽量避免拆去防潮膜存放；这样可以避免受潮团结，缩短烘干时间。 （3）尽可能采用先