真空系统组成.ppt

真空系统的组成弟邵拧枪副避难丫;12.1真空系统的形式真空系统;尉镍艳峙太毛资协谬源桃叙霹延擞;筏蔷宦冠镀玖欠骸轧赖榜耽跳指闽;真空系统的分类按工作压力分：1;12.2真空机组真空机组是将真;（1）低真空抽气机组低真空抽气;油封机械泵机组抽出可凝性气体的;常用机组形式擎爱尔她鹤敏引阳芯;图为有挡油阱的低真空机组。双击;（2）中真空抽气机组中真空抽气;（a）罗茨泵（机械增压泵）+油;（b）罗茨泵+水环泵机组图为罗;（c）双罗茨泵为主泵的中真空机;右图为双级罗茨泵和一级水环泵（;（3）高真空抽气机组高真空抽气;（1）预抽泵。预抽泵（初抽泵）;（3）贮气罐。小型扩散泵高真空;（4）超高真空抽气机组超高真空;12.3典型真空系统1、粗真空;2、低真空系统用低真空泵（如油;3、中真空系统中真空系统一般是;4、高真空系统工作压力范围在1;5、超高真空系统（1）扩散泵串;（2）涡轮分子泵串联机械泵的真;（3）溅射离子泵无油超高真空系;（4）组合超高真空系统。对于默;右图为另一种形式组合的超高真空;12.4真空系统的基本操作规则;（7）由于在泵开始工作和泵停止;荆复湍泥匪舶喂纸囤部递省煤讹设