材料分析方法 第五章 透射电镜的结构.pptVIP

引 言 电子显微分析技术？ 就是应用电子显微镜和其它电子束仪器来研究微观世界中的物质的组织形态、结构、组成及变化规律的学科。 第一节 电子光学基础 一、光学显微镜的分辨率 二、电子波的波长 三、电磁透镜 四、电磁透镜的像差及其对分辨率的影响 五、电磁透镜的景深与焦长 一、光学显微镜的分辨率 1、光学透镜的分辨率—衍射效应的影响 1、电磁透镜的聚焦原理 运动的电子在磁场中会受到洛仑兹力的作用： 式中： —电子运动的速度矢量； —磁场强度矢量 电子在磁场中运动，当电子运动方向与磁感应强度方向不平行时，将产生一个与运动方向垂直的力（洛仑兹力）使电子运动方向发生偏转。 通电的短线圈就构成了一个简单的电磁透镜。 电磁透镜的聚焦原理，如图。 ① 当入射电子沿线圈轴线运动时，电子运动方向与磁感应强度方向一致，电子不受力，以直线运动通过线圈； ② 当入射电子运动偏离轴线（即以速度v平行于线圈轴进入透镜磁场时，电子受磁场力的作用，将产生三个运动分量：轴向运动（速度vz）、绕轴旋转（vt）和指向轴的运动（vr），作圆锥螺旋近轴运动，最后会聚在轴线上的一点F。 电子运动的轨迹是一个圆锥螺旋曲线。 2、电磁透镜的结构 实际的电磁透镜的结构： 线圈+内环形间隙的铁壳+极靴 使磁场强度可以有效地集中在狭缝周围几毫米的范围内。 3、电磁透镜的焦距 电磁透镜的焦距f： 讨论： ①、改变激磁电流可以方便地改变电磁透镜的焦距； ②、电磁透镜的焦距总是正值，即电磁透镜不存在凹透镜，只是凸透镜。 ③、f与加速电压有关，加速电压不稳将使图像不清晰。 四、电磁透镜的像差及其对分辨率的影响 电磁透镜的分辨率除了受衍射效应影响外，还有像差对分辨率的影响，使得实际分辨率低于理论极限值（半波长）。 2、像散 产生原因：由透镜磁场的非轴对称引起的像差。 像散的校正： 引入一个强度和方位可调的磁场来进行校正，电镜中产生这个矫正磁场的装置叫消像散器。 因此，像散是可以消除的像差。 引起电子能量波动的原因有两个： ① 电子枪加速电压和励磁电流的波动，致使电子能量不同（也就是速度波动）；主要原因！ ② 当电子束透过试样时，部分电子能量损失而产生非弹性散射，致使电子能量变化。 色差的控制：电镜中，对电子枪高压部分和透镜电流要求很高的稳定度（2×10-6），把色差调整到分辨本领允许的范围内。 最佳孔径半角： 最小分辨距离： 最佳孔径半角α0通常是10-2～10-3rad； 对大部分透射电镜，分辨率约为2.5～3 ?； 对高分辨电镜，分辨率约为1.4～1.9 ?。 由图5-9的几何关系可推导出： 表明，电磁透镜孔径半角越小，景深越大。 一般的电磁透镜，α=10-2～10-3rad，Df =（200～2000）Δr0。若Δr0=1nm，则Df = 200～2000nm。 由图5-10中几何关系得： 对于由多级电磁透镜组成的透射电镜来说，其终像放大倍数等于各级透镜放大倍数之积。 因此，终像的焦长就更长了，一般说来超过10～20cm。 第二节 透射电镜的结构 透射电镜是以波长极短的电子束作为照明源，用电磁透镜聚焦成像的一种高分辨本领、高放大倍数的电子光学仪器。 透射电镜的三部分组成： 电子光学系统 电源与控制系统 真空系统 一、电子光学系统 积木式的直立结构。 电子光学系统分为三部分： 照明系统 成像系统 观察记录系统 成像系统是电子光学部分最核心的部分。 透射电镜的工作过程： 电子从透射电镜最上面的电子枪发射出来。 发射出的电子在加速管内被加速，通过照明系统的电子透镜照射到试样上。 透过试样的电子被成像系统的电子透镜放大、成像。 从观察室的窗口可以观察像，也可将观察到的像用照片或其他形式记录下来。 钨丝阴极热发射电子枪的组成： 发夹形钨丝阴极 栅极(又称控制极) 阳极 在控制极和阳极之间的某一位置，电子束会聚成一个小的斑点，称为电子枪交叉点，也就是通常所说的电子束的“有效光源”，所说的光斑大小(d0)就是指这个最小交叉截面的大小，约为50μm。 钨灯丝 三极电子枪采用自偏压回路(如图)确保电子束流的稳定。 高压发生器和加速管的作用：将电子源产生的电子加速。 (2)、聚光镜 作用： ①会聚经加速管加速的电子束，以最小的损失照射样品； ②调节照明强度、孔径角和束斑大小。