mems工艺制备ph-isfetrefet功能膜研究 development of functional membranes for ph-isfetrefet with mems processes.pdfVIP

第30卷第3期 电子器件 Voi．30No．3 2007年6月 ChineseJ叫mal0fElecⅡDnDev妇s Jun．2007 0f嘶i伽IaI M瓯假Pr00啜姻。 Ⅸ删0pment M哪由l锄瞵陆pH—Is阿Il／砌强既、)’7ith W_ANG Z甜一mi咒1”，HAN，ing一矗。以91，_R正：NZ矗P咒—_：i竹91”，YrANGj：忆i—g口规91，XJAS^口，2一^D咒91 nc^加fogy，h眈“抬。厂口Pffro聍积，c^i竹PsPA∞d跏yo，i朋c已s，BP巧i”glo0080，吼i舰．、 ，1．S￡n押K掣L口6Drn￡o删盯丁ksd“fPr 100049，(硫i柠Ⅱ ／ ＼2．G，，谊d搬￡PUhit肥rsifyo，(：矗i力PsPAcnd唧yo，Sf