mems可调谐vcsel的研究进展 research and advances of mems tunable vcsel.pdfVIP

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2017-08-20 发布于上海
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mems可调谐vcsel的研究进展 research and advances of mems tunable vcsel.pdf

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mems可调谐vcsel的研究进展 research and advances of mems tunable vcsel

骀圈回中文核心期刊 MEMS可调谐VCSEL的研究进展李丈兵，韩勤，杨晓红，朱彬 (中国科学院半导体研究所光电子研发中心．北京100083) 前景。文章从结构差异上，将近几年来国际上的有关报道分成了单悬臂型，可变形介质模型，半对称腔型和掩埋隧道结型等四类，并对每一类型作了详细的介绍。关键词：可调谐VcsEL；微机电系统；密波分复用技术中图分类号：TN929．11文献标识码：A and MEMStunabIeVCSEL Researchadvances0f u Bm Wm-bin昏HANQin，YANGxiao-hong，硪U ofSemiconductors． (R＆DCenterforoptoelec廿onics．Institute chinese 100083，china) Academyofsciences，Beqing the ofme andDense Di“sion Abstract：With devel叩mentall—optic-ne协，ork WaVelen百h MuldpIcxedsys— tenls rather oftheMicr0一Elec仃。一MechanicaI (DwDM)，therc盯elargepotential印plications s跗ems In tI!Iis Venical-C州ty pe疵ct anicle， 0血Ms)tIlIlable su响ce—Emi劬gLasers(VcsELs)for廿1eirproperth the VcsELswhich dividedint0follr nⅡlable intelll“onal r印oned疗0m recently，are buriedtLmnel eachofthemisre- cantilever，deformablemembrane，half．symme州ccavity锄d jundion；aI】d viewed ckarly． wOrds：tunable Key VCSEL；MEMS；DWDM 1引言加热改变腔体折射率或等离子体效应来实现波长调谐密波分复用技术(DWDM)已经成为实现新一代高容量．高速光网络通讯系统的关键。它可以使多个不同的限制．调谐范围大约限制在15nm左右。相反．采用的波长(1530。1610nm)在同一光纤中传播．极大地提高了单模光纤的传输容量。、目前的DwDM系统均采用点对点的传输方式．每一点中拥有数十个不同的传输谱区仅有+个单纵模．使得连续宽范围的波长调谐成