mmic用nife-siox磁性金属颗粒膜电感研究 inductors with nife-siox magnetic granular film for mmic.pdfVIP

第30卷 第2期 固体电子学研究与进展 V01．30．No．2 2010年6月 OFSSE Jun．，2010 RESEARCHPROGRESS 产p≯pp矿，o‘ 冬射频与微波《} h—p毋一一一? 孔 岑r 李 辉2 张万里1 陈 辰2 陈效建2 (1电子科技大学，电子薄膜与集成器件国家重点实验室，成都，610054) (2南京电子器件研究所，单片集成电路与模块国家重点实验室，南京，210016) 2009—09—25收稿，2009—11．26收改稿 摘要：在蓝宝石基的氮化镓衬底上采用射频磁控溅射结合剥离的方法制作了NiFe—Si0：磁性金属颗粒膜，利用 单圈电感，与无磁膜结构相对比在1GHz时电感量有30％的提升，且对Q值影响不大；对于多圈电感，电感量与电 感结构密切相关，当磁膜同时存在于线圈下和线圈之间时对电感量提升最大，但