mosfet器件回顾与展望(下) history and perspective of mosfet device(ⅱ).pdfVIP

!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!! MOSFET 器件回顾与展望（下） 1 2 1 肖德元 ，夏青 ，陈国庆 （ 中芯国际集成电路（上海）有限公司存储器技术发展中心，上海 ； 1 . 201203 2 . 上海第二工业大学，上海 201209 ） 摘要：介绍了新颖的 MOS 器件结构及鳍状 FET 器件研究最新进展，比较了几种主要新颖半 导体器件的特性，指出了MOSFET 尺寸缩小所面临的巨大挑战及解决办法，展望了器件未来发展 趋势。 关键词：金属氧化物半导体场效应管；微电子学；鳍状 中图分类号：