第四章 扫描探针显微镜-正式1-材料08.pptVIP

第四章 扫描探针显微镜 目 录 4.0 本章要点 4.1 概述 4.2 扫描隧道显微镜 4.2.1 STM的原理 4.2.2 STM的测量模式 4.2.3 STM的特点 4.3 原子力显微镜 4.3.1 AFM的基本原理 4.3.2 AFM的硬件结构 4.3.3 AFM的工作模式 4.4 扫描探针显微镜的特点 4.5 扫描探针显微镜的系统简介 4.6 扫描探针显微镜的样品要求 4.7 扫描探针显微镜的应用 4.8 小结 4.0 本章要点 1、了解扫描隧道显微镜的工作原理； 2、了解原子力显微镜的工作原理； 3、了解扫描隧道显微镜的分辨率； 4、掌握STM、AFM的分析方法。 到目前为止，电子探针仍然是微区成分分析最常用的主要工具，总的来说其定量分析的精度还是比较高的。 但是，由于高能电子束对样品的穿透深度和侧向扩展，它难以满足薄层表面分析的要求。同时，电子探针对Z≤11的轻元素的分析还是比较困难的，因为荧光产生额低，特征X射线光子能量小，使轻元素检测灵敏度和定量精度都较差。 4.1 概述 目前常用的几种表面分析仪器和技术： 1.离子探针分析仪(IMA)或二次离子质谱仪(SIMS) 2.低能电子衍射(LEED) 3.俄歇电子能谱仪(AES) 4.原子探针—场离子显微镜(FIM) 5.X射线光电子能谱仪(XPS) 6.扫描隧道显微镜(STM)与原子力显微镜(AFM) 4.1 概述 表面科学的主要发展始于20世纪60年代，它的两个最主要的条件是： 超高真空技术的发展 各种表面灵敏的分析技术不断出现 表面分析技术的发展与材料科学的发展密切相关，它们相互促进： 八十年代，扫描探针显微镜（SPM)的出现使（材料）表面科学的研究发生了一个飞跃； STM中用来防振荡的氟化橡胶（Viton)，AFM所用的探针等都是材料科学发展的新产物。 4.1 概述 “表面”的概念 过去，人们认为固体的表面和体内是完全相同的，以为研究它的整体性质就可以知道它的表面性质，但是，许多实验证明这种看法是错误的； 关于“表面”的概念也有一个发展过程，过去将1厚度看成“表面”，而现在已把1 个或几个原子层厚度称为“表面”，更厚一点则称为“表层”。 4.1 概述 表面分析方法的特点 用一束“粒子”或某种手段作为探针来探测样品表面，探针可以是电子、离子、光子、中性粒子、电场、磁场、热或声波（机械力），在探针作用下，从样品表面发射或散射粒子或波，它们可以是电子、离子、光子、中性粒子、电场、磁场、热或声波。检测这些发射粒子的能量、动量、荷质比、束流强度等特征，或波的频率、方向、强度、偏振等情况，就可获得有关表面的信息。 4.1 概述 4.1 概述 扫描探针显微镜 Scanning Probe Microscope——SPM 4.1 概述 ★纳米科学和技术是在纳米尺度上（0.1~100nm）研究物质（包括原子、分子）的特性和相互作用，并且利用这些特性的一个新兴科学。其最终目标是直接以物质在纳米尺度上表现出来的特性，制造具有特定功能的产品，实现生产力方式的飞跃。纳米科学包括纳米电子学、纳米材料学、纳米生物学、等多个研究领域。 扫描探针显微镜 Scanning Probe Microscope——SPM 4.1 概述 ★纳米科学的不断成长和发展是与以扫描探针显微术（SPM）为代表的多种纳米尺度的研究手段的产生和发展密不可分的。可以说，SPM的相继问世对纳米科技的诞生与发展起了根本性的推动作用，而纳米科技的发展又为SPM的应用提供了广阔的天地。 ★ SPM不仅能够以纳米级甚至是原子级空间分辨率在真空、大气或液体中来观测物质表面原子或分子的几何分布和态密度分布，确定物体局域光、电、磁、热和机械特性，而且具有广泛的应用性，如刻划纳米级微细线条、甚至实现原子和分子的操纵。这一集观察、分析及操作原子分子等功能于一体的技术已成为科学研究中的主要工具。 4.1 概述 ★ SPM是一个包括扫描隧道显微术（STM）、原子力显微术（AFM）等在内的多种显微技术的大家族。 不同类型的SPM主要是针尖特性及其相应针尖－样品间相互作用的不同，包括： 扫描探针显微镜（STM) 原子力显微镜（AFM) 摩擦力显微镜（LFM) 磁力显微镜（MFM) 扫描近场光学显微镜（SNOM) 弹道电子发射显微镜（BEEM) 4.1 概述 石墨晶体的STM原子像 石墨样品 4.2 扫描隧道显微镜 ★1982年，IBM瑞士苏黎士实验室的德裔物理学家葛·宾尼（G．Binning）和他的导师海·罗雷尔（H．Rohrer）研制出世界上第一台扫描隧道显微镜。 扫描隧道显微镜 Scanning Tunneling Microscope—STM 引