多晶硅锭定向凝固过程的数值模拟 numerical simulation of directional solidification process for the polycrystalline silicon ingot.pdfVIP

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2017-08-21 发布于上海
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多晶硅锭定向凝固过程的数值模拟 numerical simulation of directional solidification process for the polycrystalline silicon ingot.pdf

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多晶硅锭定向凝固过程的数值模拟 numerical simulation of directional solidification process for the polycrystalline silicon ingot

…。。。电子工业董用设苗ER目兰￡剑造皇遮鱼坠堕运叠些塑迪塑磷画；·区坐鱼L鱼‘j 多晶硅锭定向凝固过程的数值模拟陈国红，王滋渊，肖互波，瞿海斌 1 (中国电子科技集团公司第四十八研究所，湖南长沙41011) 摘要：研究了多晶硅锭定向凝固过程中晶体和熔体中的温度分布、固液界面的温度场，并对定向凝固过程进行了数值模拟．对热场对多晶硅晶体生长的影响进行了系统的理论分析和试验验证。关键词：多晶硅锭；定向凝固过程；热场；数值模拟中图分类号：TN305 文献标识码：A Process NumericalSimulationofDirectionalSolidification forthe Silicon PolycrystallineIngot CHEN Haibin Guohong，WANGZiyuan，XIAOYibo，QU 48thResearchInstituteofChinaElectronic 41011 (The TechnologyGroupCompany，Changsha1，China) Abstract：Inthis distributionofthe andmeltforthe sili— paper，thetemperature crystal polycrystalline the con directionalsolidificationwasdiscussed．Andthe fieldof solid—liquid ingot process temperature was directionalsolidificationWasvisualizedthenumericalsimula— interfacestudied．The process by tion．A theoreticaland validationWas fortheeffectabout systematic analysisexperimental provided thermalfieldto silicon polycrystallinecrysmlgrowth． silicon solidification field；Numerical ingot；Directionalprocess；Thermal Keywords：Polycrysmlline simulmion 铸造多晶硅存在晶界和晶粒的不同取向，晶界程中的温度分布、凝固过程、固液界面形状等。影响中的大量缺陷在硅的禁带中形成的界面态是光生上述3个参数的主要因素是多晶硅铸锭炉系统内载流子的复合中心，影响多晶硅太阳能电池特性和各项工艺参数的优化设置，包括长晶时热场的散热效率，控制晶体凝固过程中的晶粒形状和尺寸是降情况以及石墨加热器的热量分布情况等。低界面态密度进而提高多晶硅太阳能电池性能特