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2017-08-21 发布于上海
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多线切割张力控制系统研究 research on multi-wire saw tension control system

10.3969/j.issn.1003-353x.2011.11.016 多线切割张力控制系统研究贺敬良1王成武2 王学军3 田燕林1 1.北京信息科技大学，北京 100192;2.中国石油昆仑燃气有限公司，北京 100101; 3.中国电子科技集团公司第四十五研究所，北京 101601 摘要：对多线切割张力控制技术进行论述，分析了多线切割机中张力控制技术的特点，在此基础上，提出了一种多线张力的控制方法。该方法基于对张力信号变化的实时检测，将检测张力的变化转变为电机扭矩的变化，通过控制扭矩电机的扭矩来调整切割线张力，由控制软件来实现对切割线张力的检测、分析与控制。控制精度高，成功实现了在双主辊系统驱动下的多线切割机张力控制。实验证明，该方法可靠、稳定，能很好地检测并控制多线切割系统张力精度。张力：扭矩：张力检测；张力控制；多线切割机 TN305.1;TP273 A 1003-353X (2011) 11-0885-05 ResearchonMulti-WireSawTensionControlSystem HeJingliang WangChengwu WangXueiun TianYanlin 2011年11月旺固 2011年11月 @@[1]高伟，刘镇昌，王霖.硬脆材料的线锯切割加工技术 [J].工具技术，2001，35(11):6-9. @@[2]富扬，刘兆滨，宋恩军，等.硬脆性材料线切割切削液的组成和发展[J]. 半导体技术，2008，33(4)： 292-295. @@[3]MOLLERHJ.Basicmechanismsandmodelsofmulti wiresawing[J] . AdvancedEngineeringMaterials, 2004,6(7):501-513. @@[4]郭帅，何永义，姚志良，等.张力控制试验平台及监测系统的研究[J].工业仪表与自动化装置，2005 (4):46-49. @@[5] FRANKLIN G F, DAVID POWELL J.WORKMAN M.Digitalcontrolofdynamicsystems[M].NewYork: Ellis-Kagle,1998:52-90. @@[6] 戴瑜兴，汤睿，张义兵，等.数控多线切割技术发展趋势 [J].电子工业专用设备，2007，154 (11):1-4. @@[7]吴旭.高速浮辊张力控制系统研究[J].电子工业专用设备，2007，154(11):5-7. @@[8]贺敬良，王学军，童亮，等.太阳电池用Si片切割过程中浆料作用研究 [J].半导体技术，2010，35 (10):976-979. 贺敬良(1963-)，男，新疆人，博士，硕士生导师，副教授，主要研究方向为智能机械系统设计，在国际国内学术期刊上发表论文三十余篇。 889