二元光学元件横向加工误差对衍射效率的影响 analysis of effect of lateral fabrication errors on binary optical elements.pdfVIP

下载本文档

8
0
约1.56万字
约 5页
2017-08-21 发布于上海
举报
版权申诉

二元光学元件横向加工误差对衍射效率的影响 analysis of effect of lateral fabrication errors on binary optical elements.pdf

1、原创力文档（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。。
2、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击这里二次下载。
3、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

二元光学元件横向加工误差对衍射效率的影响 analysis of effect of lateral fabrication errors on binary optical elements

第38卷第9期光电工程 V01．38，No，9 201 1年9月 ectronic 1 1 Opto—El Engineering Sept．20 文章编号：1003—501X(2011)09—0046—04 二元光学元件横向加工误差对衍射效率的影响殷可为1‘2，黄智强1，林妩媚1，邢廷文1 (1．中国科学院光电技术研究所，成都610209I 2．中国科学院研究生院，北京100049) 摘要：横向加工误差包括对准误差和线宽误差，加工误差对衍射效率的影响是二元光学元件研究的重要问题。本文基于标量衍射理论，提出了一种与MATLAB相结合的分层计算方法，重点分析了4阶和8阶二元光学元件横向加工误差和衍射效率的关系。结果表明，控制8阶二元光学元件对准误差，可抑制衍射效率的迅速下降，适当调整线宽能够减小对准误差造成的影响。这些结果对二元光学元件的加工有重要的参考价值。该方法简便且适用性强，可对二元光学元件的加工误差进行准确分析。关键词：衍射光学元件；二元光学元件；横向误差：衍射效率：标量衍射理论：MATLAB 中图分类号：0436．1 文献标志码：A ofEffectofLateralFabrication Analysis Errors on Elements Binary Optical YINKe-wei¨，HUANG Wu．meil，XING Zhi．qian91，LIN Ting．Welll and 61 (1．LabofAppliedOptics，Institute∥OpticsElectronics，ChineseAcademyofSciences，Chengdu0209，China； 2．Graduate UniversityofChinese 100049，China) AcademyofSciences，Bering andlinewidthellOrSaremainfabricationerrorsin is Abstract：Misalignment BinaryOpticalElements(BOE)．It to theinfluenceoffabricationerrors on element a importantanalyze binary designers．Weprovided layer optical layerby MATLABmethodbasedonscalardiffractionto betweendifliactive and analysis the