光刻物镜恒温水套的小比例模型实验设计 downscaling model test design for constant-temperature water jacket of lithography lens.pdfVIP

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2017-08-21 发布于上海
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光刻物镜恒温水套的小比例模型实验设计 downscaling model test design for constant-temperature water jacket of lithography lens.pdf

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光刻物镜恒温水套的小比例模型实验设计 downscaling model test design for constant-temperature water jacket of lithography lens

第 38 卷第 1 期光电工程 Vol.38, No.1 2011 年 1 月 Opto-Electronic Engineering Jan, 2011 文章编号：1003-501X(2011)01-0060-06 光刻物镜恒温水套的小比例模型实验设计袁文全，巩岩，张巍，王学亮，赵磊，倪明阳 ( 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所，长春 130033 ) 摘要：为了进行光刻物镜恒温水套先期设计分析，采用相似性原理设计了一个恒温水套的小比例模型实验，并采用数值仿真的办法，证明了该小比例模型实验设计方法的正确性。首先根据恒温水套的结构形式给出了传热控制方程。接着对各控制方程进行分析，得出了稳定传热情况下模型实验设计的相似准则。然后根据相似准则设计了一个光刻物镜恒温水套的 1：4 小比例模型。最后通过数值仿真分析了 1：4 小比例模型及原型上的热场分布，计算结果表明它们之间的热场分布具有相似性。结论表明：在进行光刻物镜恒温水套小比例模型的稳定传热实验设计时，需要满足几何相似、雷诺数相似、普朗特数相似、毕奥数相似及边界条件相似。关键词：光刻；比例模型；相似准则；数值传热分析；热分布中图分类号：TN305.7 文献标志码：A doi：10.3969/j.issn.1003-501X.2011.01.012 Downscaling Model Test Design for Constant-temperature Water Jacket of Lithography Lens YUAN Wen-quan ，GONG Yan，ZHANG Wei ，WANG Xue-liang ，ZHAO Lei ，NI Ming-yang ( Changchun Institute of Optics, Fine Mechanics and Physics, Chinese Academy of Sciences, Changchun 130033, China ) Abstract : In order to realize early design of constant-temperature water jacket of lithography lens, a downscaling model test for constant-temperature water jacket is designed with similarity principle, and the method of this downscaling model test design is proved to be correct by numerical simulation. First, governing equations of heat transfer are given based on structure of the constant-temperature water jacket. Then, the governing equations are analyzed, and the similarity criteria of model test design under steady-state heat transfer are derived. Thirdly, a 1:4 downscaling model of a constant-temperature water jacket of lithography lens is designed with the sim