机械零件几何量精密测量.docVIP

第五章机械零件几何量的精密测量 5.1几何量精密测量基础 5.1.1几个有关概念 １．几何量：作为测量对象，它包括尺寸（长度、角度）、形状和位置误差、表面粗糙度等。 ２．计量：以保持量值准确统一和传递为目的的专门测量，习惯上称为计量（检定）。 ３．检验：是指判定被测量是否合格的过程，通常不一定要求得到被测量的具体数值。几何量检验即是确定零件的实际几何参数是否在规定的极限范围内，以作出合格与否的判断。 ４．测试：是指具有试验研究性质的测量。 5.1.2几何量计量器具分类及其度量指标 １．计量器具的分类 按被测几何量在测量过程中的变换原理的不同，计量器具可以分为： （１）机械式计量器具：用机械方法来实现被测量的变换和放大的计量器具，如千分尺（螺纹测微计）、百分表、杠杆比较仪等。 （２）光学式计量器具：用光学方法来实现被测量的变换和放大的计量器具，如光学计、光学分度头、投影仪、干涉仪等。 （３）电动式计量器具：将被测量先变换为电量，然后通过对电量的测量来完成被测几何量测量的计量器具，如电感测微仪、电容测微仪等。 （４）气动式计量器具：将被测几何量变换为气动系统的状态（流量或压力）的变化，检测此状态的变化来实现被测几何量测量的计量器具，如水柱式气动量仪、浮标式气动量仪。 （５）光电计量器具：用光学方法放大或瞄准，通过光电元件再转化为电量进行检测，以实现被测几何量测量的计量器具。如光栅式测量装置、光电显微镜、激光干涉仪等。 ２．计量器具的基本度量指标 图5-1　比较仪及其刻度盘 （１）刻度间距C：计量器具标尺或圆刻度盘上两相邻刻线中心之间的距离或圆弧长度（图5-1）。刻度间距太小，会影响估读精度，太大则会加大读数装置的轮廓尺寸。为适于人眼观察，刻度间距一般为0.75～2.5mm。 （２）分度值i（亦称刻度值、分辨力）：每个刻度间距所代表的量值或指量仪显示的最末一位数字所代表的量值。在长度测量中，常用的分度值有0.01mm， 0.005mm， 0.002mm以及0.001mm等几种（图5-1中分度值为0.001mm）。对于有些量仪（如数字式量仪），由于非刻度盘指针显示，就不称为分度值，而称分辨力。 （３）灵敏度S：指针对标尺的移动量dL与引起此移动量的被测几何量的变动量dX之比，即S=dL/dX。灵敏度亦称传动比或放大比，它表示计量器具放大微量的能力。 （４）示值范围：是指计量器具所能显示或指示的被测量起始值到终止值的范围。例如图5-1所示比较仪的示值范围为?100?m。 （５）测量范围：是指计量器具的误差处于规定极限内，所能测量的被测量最小值到最大值的范围，如图5-1所示比较仪，悬臂的升降可使测量范围增大达到0～180mm。 （６）示值误差：示值误差是指计量器具显示的数值与被测几何量的真值之差。示值误差是代数值，有正、负之分。一般可用量块作为真值来检定出计量器具的示值误差。示值误差愈小，计量器具的精度就愈高。 （７）示值变动性：在测量条件不作任何改变的情况下，同一被测量进行多次重复测量读数，其结果的最大差异。 （８）回程误差：在相同情况下，计量器具正反行程在同一点示值上被测量值之差的绝对值。引起回程误差的主要原因是量仪传动元件之间存在间隙。 （９）测量力：接触测量过程中测头与被测物体之间的接触压力。过大的测量力会引起测头和被测物体的变形，从而引起较大的测量误差，较好的计量器具一般均设置有测量力控制装置。 5.2 几何尺寸的精密测量 几何尺寸的精密测量常见于轴、孔直径的精密测量，或是线纹尺、量块的检定。测量、检定时所采用的计量仪器有比较仪、工具显微镜、测长仪、比长仪、激光干涉仪等。 a) b) 图5-2 立式光学计 对于高精度的轴径，常用比较仪进行比较测量，比较仪的基本结构如图5-1所示，但读数部分可有多种不同装置，有机械式、光学式、电动式，它们分别称为机械式测微仪，光学计，电动测微仪（又分为电感式、电容式）等。图5-1所示的是机械式比较仪，立式光学计如图5-2 a)所示，图中：1-悬臂锁紧螺丝；2-升降螺母；3-光管细调手轮；4-拨叉；5-工作台；6-被测工件； 7-光管锁紧螺钉； 8-测微螺丝9-目镜；10-反光镜。图5-2 b)所示为光路图。 图5-3所示的是电感式比较仪。 5.2.1用比较仪测量轴类零件 用比较仪测量轴类零件尺寸时，先用量块或标准件调好仪器的零位，然后将被测件放在工作台上进行测量。仪器指示值为被测轴径相对于仪器调零时所用基准的偏差值，指示值加上基准值（量块或标准件尺寸）后即为被测轴径的值。仪器调零过程是通过调节仪器悬臂在立柱上的高低位置（粗调）、检测装置在悬臂上的安装位置（细调）以及可动表盘的