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惯性导航传感器（翻译版）Neil M. BarbourCharles Stark Draper Laboratory (P-5286)Cambridge, MA 02139USA目录摘要：11简介12惯性传感器技术42.1光学陀螺52.1.1环形激光陀螺（RLGs）52.1.2光纤陀螺（FOGs）72.1.3微型的光纤陀螺（MFOGs）92.1.4集成光学陀螺（IOG）112.2光学加速度计122.3半球谐振陀螺142.4MEMS惯性仪表152.4.1MEMS加速度计162.4.1.1基于位移的MEMS加速度计162.4.1.2MEMS谐振式加速度计192.4.1.3静电悬浮式MEMS加速度计202.4.2MEMS陀螺212.4.2.1MEMS振动梁陀螺仪222.4.2.2振动平面式MEMS陀螺232.4.2.3谐振环型陀螺252.4.2.4非传统MEMS陀螺的发展262.4.3多轴陀螺和加速度计芯片272.5冷原子传感器282.6未来展望30致谢：34摘要：在很多导航应用领域，最重要的问题不是提高导航系统的精度/性能，而是在满足性能需求的前提下来降低成本和减小体积。特别是小型导航传感器的微小尺寸使得制导、导航、控制技术能够应用到以前认为是不可能应用的场合（例如炮弹、个人导航）。环形激光陀螺（RLGs）、光纤陀螺（FOGs）和微机电系统（MEMS）陀螺及加速度计这三大技术推动了导航技术在军事和商业领域的发展。这些技术几乎在所有的高精度领域已经取代了绝大部分的机械陀螺和许多的加速度计。由于机械陀螺是一种相当成熟的技术，在此不再赘述。尽管光纤陀螺技术仍然在持续发展，但是环形激光陀螺和光纤陀螺技术也已经成熟了。我们可以基于光子晶体光纤的低损耗和它所提高的最小弯曲半径极限来进一步缩小光纤陀螺的体积，获得很高的性能。半球形的谐振陀螺（HRG）技术也是一项成熟的技术，它在空间应用中的利基市场已做过简要的介绍。微机电系统技术现在在商业级水平得到了广泛的应用，并开始向着战术性能水平迈进。这些技术都是以使用科氏振动陀螺原理而进行设计的各种类型的微机电系统陀螺为基础的。然而它们（HRG和MEMS）在战术级别上的性能却比不上环形激光陀螺（RLGs）和光纤陀螺（FOGs）。在惯性领域持续进展的基础上，光纤陀螺、微机电系统陀螺和加速度计这些领域也随之获得了技术上的发展。由于MEMS技术仍然是一个非常活跃的研发领域，本文将重点放在MEMS传感器的设计和性能方面。以冷原子干涉为基础的相关新技术也将进行简要的介绍。最后，本文后对各种传感器技术的未来发展和应用进行了预测。简介制导、导航与控制学科已经发展了100多年，在这期间获得了许多激动人心的发展，特别是在导航传感器领域【参考文献1-18】。今天，想要全面理解导航传感器这个领域，就必须掌握广泛的科学知识，例如机械工程、电子学、光电、原子物理等。我们通常基于某些特定的性能参数来对传感器进行比较，例如偏压、标度系数稳定性和重复性，或者噪声（例如随机游走）等。选择传感器是个困难的过程，事实上，在性能相当的情况下，不同的传感器技术总有许多这样或者那样的缺点。由于几乎所有的新应用都是捷联式（而不是平台式），这就对陀螺仪提出了更高的需求（特别是陀螺标度系数的稳定性、很大的角速率、很低的g敏感度，高带宽）。在许多应用中，关键问题不是提高精度/性能，而是在满足性能要求的情况下降低成本、减小体积。特别是传感器的微型尺寸使得GNC技术能够应用到以前认为不可能应用的场合（如炮弹、30mm口径的子弹），诸多这些新型的应用需要以更低的价格来获得更多数量的传感器。惯性传感器（陀螺仪或者加速度计）的输出随时间漂移的现象意味着仅仅依靠惯性传感器只能获得有限的导航精度。因此各种辅助/增强型传感器被引入到惯性系统中，例如全球定位系统（GPS）、测速仪、导引头、星敏感器、磁力计、激光雷达等等。GPS辅助导航的广泛应用使得我们可以使用性能更低的惯性传感器来得到所需要的导航系统。然而GPS也不是任何情况下都可以使用的（例如来自城市环境的干扰，在室内、隧道、山洞内不可用，不能够足够快的获取目标信息（例如飞行时间很短的武器）），这些缺点意味着其他的导航传感器仍然是必要的。决定采取哪种系统构架的关键因素在于完成任务所需的成本，这里的成本不仅仅包括产品的购置成本，还包括它在寿命周期内的成本。一些应用场合对于尺寸和功耗的要求极其苛刻，以至于并非所有的惯性技术都能胜任。惯性传感器提供了一个大范围的准确度，它在进行传感器精度等级选择（即看传感器的哪一级精度最适合要求）的时候变得有用。如下表Table 1所示。很明显，在实际应用中还有一些其他的性能参数可能需要考虑，例如噪声（随机游走）。Table 1: 惯性传感器应用等级应用等级陀螺性能加速度及性能用户/商业1 d