光电信号的检测方法(莫尔拓扑图).docxVIP

第五章：光电信号的检测方法单频光相位调制和条纹检测在使用窄光束单频光波相位调制的干涉测量中，干涉条纹的形成和检测是在光束重叠的较小空间范围内进行的，通常采用单元光电器件检测局部位置上的干涉条纹波数或相位随时间的变化。1．单频光的相位调制在单一频率相干光路中，被测量使相干光波的相位发生变化，同时通过干涉作用把波相位的变化变换为振幅的变化，这个过程称单频光波的相位调制或称相幅变换。由前面的公式可知，能引起相位变化的参量是光路长L和介质折射率n。因此相位调制通常是利用不同形式的干涉仪，借助机械的、光学的、光电子学等变换器伴将被测量的变化转换为光路长L和折射率n的变化。前者用来检测几何和机械运动参量，后者用于分析物质的理化特性。为了定量描述被测参量对相位调制的影响，采用规一化相位响应表示在单位长度的光路内由被测参量引起的相位变化。(1/L)(dφ/dF)＝(2π/λ0)[dn/dF+(n/L)(dL/dF)]式中，(1/L)(dφ/dF)为规一化相位响应，L为干涉光路长度，F为被测参量。等式右端两项分别表示折射率变化和光路长度变化引起的相位响应。上式可用来衡量相位调制的各种类型光学干涉仪和光纤干涉仪的工作特性。1）光学干涉仪相位调制通常作为相位调制用的光学干涉仪有迈克尔逊干涉仪、吉曼干涉汉、马赫-泽德干涉仪、萨纳克干涉仪和法布里-珀罗干涉仪等。下图给出了它们的原理示意图。典型的光学干涉仪原理示意图除了法布里-珀罗干涉仪外，前述干涉仪皆属双光束干涉。干涉强度分布满足公式。图a的迈克尔逊干涉仪其特点是结构简单，条纹对比度好，信噪比高。测量镜M2与被测物连接可以感知位移、变形等参量。由于M2的位移量Δx引起测量光路2Δx的变化，即λ/2的位移引起干涉条纹一个周期的变化，所以条纹的计数和被测位移的计算关系简单。它的测量灵敏度达10-13m的数量级。其缺点是输出光束能经分束镜返回激光器，这将使激光器工作不稳定，这可以通过设置偏振器来防止。图b是吉曼干涉仪。同样厚度的二块玻璃板背面镀以反射膜，利用两玻璃表面的反射形成光束的分束和再合成。由于两光路的光程差很小，即使相干性较差的光源也可进行精密测量。它主要用来测定透光物质（例如气体）的折射率，可进行标准试样和被测试样的比较测量。若试样长度为L，条纹测量精度为λ/50，则折射率误差在δn＝λ/50L之内。图c是马赫-泽德干涉仪，由二片分束镜和二片反射镜组成。输出分束镜有两束干涉光输出，可用于布置多路接收器，它的返回散射光较少，有利于降低激光的不稳定噪声。被测位移的引入通过可移动反射镜进行，位移范围不能超过相干光束的截面。图d的萨纳克干涉仪其入射分束镜和出射合成镜合并为一。入射分束镜把入射光束分成二个传输方向相反的顺时针光路和逆时针光路，闭合回路的形状可以是任意的如矩形或三角形。反射镜的法向位移对两个反向光路长度的改变量相等，因此不引起干涉强度的变化。它用来感知如转角、转速以及磁场强度等非互易效应。图e是法布里-珀罗干涉仪。它的两块反射镜的反射率R高达95%以上。入射光束经不同次数的反射后分别透射，以平行光形式输出，由光电探测器接收，因此是多光束干涉。相干光强的变化表示为I＝I0/{1+[4R2/(1-R)2]sin2(φ/2)}及φ＝4πnd/λ0式中，F＝4R2/(1-R)2称作精细度系数，可表征干涉条纹的锐度（如图b）；是相邻反射光束间的相位差；I0是平均光强度；d为平面镜间隔；λ0为真空波长；n为反射镜间介质折射率。这两个式子表明透射干涉光强不是正弦分布，当φ为2π整数倍时光强为最大值，φ为π的奇数倍时光强为最小值。最大最小值之比为(l+R)/(1-R)，因此有很高的条纹对比度，是一种灵敏的传感器。由后一式可见，被测变量的调制作用可以通过改变d和n实现，后者可用更换平面镜之间的气体等方式进行。此外也可实现高分辨率波长变化的测量，其分辨率可达2×l0-5nm。光学干涉仪的共同特点是相干光在空气中传播，环境温度的改变会引起空气折射率的扰动；大气湍流和声波干扰也会导致光程的变化，降低了工作可靠性和测量精度。2）光纤干涉仪相位调制光纤干涉仪另一类相位调制可采用单模光纤作封闭光路组成的各种类型的光纤干涉仪。上图给出了它们的原理示意图。其中图a为迈克尔逊干涉仪，图b为马赫-泽德干涉仪，图c为萨纳克干涉仪，图d为法布里-珀罗干涉仪。在这些结构中，光纤光程代替了空气光程，定向光束耦合器取代了分束器，它能按一定比例将光束由一束光纤耦合到另一束光纤中，以实现光束分割和合成。由于光路的闭合避免了空气的扰动，并且不受结构空间的限制可以组成千米数量级长度的干涉仪，因此有利于提高测量灵敏度。光纤本身作为被测参量的敏感元件直接置于被测环境中，通过不同的物理效应感知被测参量的变化，形成光纤中光波相位、频率、振幅、偏振态的改变。