PMN基电致伸缩材料.PDFVIP

第2 1 卷第 6 期 　　　　　　　　　　　南　京　化　工　大　学　学　报　　　　　　　　　　　Vol.2 1 No.6 1999 年11 月 　　　JOURNA L OF NANJING UNIVERSITY OF CHEMICA L T ECHNOLOGY　　　 Nov.1999 PM N 基电致伸缩材料 梁晓光　吕忆农　徐　霞　陆佩文　薛万荣 (南京化工大学材料科学与工程学院, 南京, 210009) 　要　试验以PMN 基弛豫铁电体为基础, 通过掺杂和优化工艺, 研制出性能优异的电致伸缩材料(1- y )[(1-x )PMN-x PT] -y WO , 分析讨论了掺杂改性对材料性能的影响。进一步阐明材料宏观性能与微 3 观结构之间的关系。 关键词　PMN 基材料　弛豫铁电体　电致伸缩效应 + 中图分类号　TQ 174.75 6 　　近年来, 新型位移元件在光学、精密机床、微型 马达、生物医学领域的需求量急剧增长, 一些光学设 1.1　原材料与工艺 备如激光器和半导体芯片加工过程中的定位精确性 所用PbO, TiO2, ZrO2, M CO3, WO3 均为化学 已提高到微米级及亚微米级的要求。然而, 传统的 纯, Nb O (上海跃龙)质量分数为 99.5%。Pb 2 5 机械位移无法达到如此精度。高技术领域对微位移 (M Nb )O (简称PM N)采用二步合成法, 合成 1/3 2/3 3 器的研制开发关注到压电和电致伸驱动器缩上, 它 温度分别为1 000 ℃和800 ℃。PbTiO3 (PT )合成 [ 1] 们的基本原理是电场诱导应变和电致伸缩效应 。 温度700 ℃。PM N 、PT 、WO 按一定比例配料, 采 3 压电和电致伸缩驱动器在材料上必须施加大的 用传统陶瓷工艺制成Ф14 mm ～20 mm 试片供测 电场(≈1 MV/m)才能产生大的应力(≈10 M Pa)和 试用。 应变(ΔL /L ≈10-3 ), 因此除了有足够大的应变和 1.2　材料性能测试 电致伸缩响应外, 材料还必须具备优良的电绝缘强 用LE-2788 数字电桥测量试样的电容量, 再 度和机械韧性。 由相应公式计算出其介电常数和介质损耗。用电容 新型压电驱动器采用独石电容器工艺制作, 它 电桥法测量居里温度和介电常数-温度关系曲线; 具有多层结构, 可由厚度 10 ～30 μm 近100 层压电 用Saw yer-Twer 电路测量其电滞回线;用电感测 陶瓷薄片叠成, 这种多层式结构优点是驱动电压 微仪测定材料的电致伸缩应变值;用日产X-640 低、位移大、且机电换能效率高, 便于自动化大批量 型扫描电镜及H-800 透射电镜对试样作电子显微 生产和低成本等优点。 分析;用D/M ax -RB 型X 射线衍射仪分析相组 弛豫铁电陶瓷具有很高的介电常数、大的电致 成。 伸缩效应、相对低的烧结温度和由弥散相变(Diffuse 1.3　试样的命名 Phase Transition 简称DPT )引起较