薄膜光学技术-6-1幻灯片.ppt

目的: 1. 为改进工艺提供依据； 2. 检验成品质量。 内容: 光谱透射率/光谱反射率；光学常数(n,k,d)； 散射；吸收；应力；附着力；硬度；抗激光损伤阈值；结构、组分…等等。 2. 求d 对于无色散的透明膜层，在得到n值后，需要知道相邻两个反射（或透射）极大（或极小）所对应的波长λ1和λ2，则就可以由 nd = (2m+1)λ1 / 4 = [2(m+1)+1]λ2 / 4 得到： 3. 有色散单层膜 当测得单层膜的T- λ、或 R-λ光谱曲线上从长波到短波的极值波长依次为λ0 、 λ1 、 λ2 、 ... λj ... λi 无色散时： λj = λ0 / j 有色散时： nj d = j λj / 4 ， n i d = i λi/ 4 ∴ nj / n i = j λj / i λi 1、特点 偏振光入射角可变，便于根据样品折射率高低进行调整，保证测试精度。 测量波数精度高、光谱范围广。 测试速度快，可以安装在镀膜设备上，对镀膜过程进行在线测试。 2、工作原理 当线偏振光入射到样片表面时，反射光的偏振状态会发生改变。通过测量入射平面内偏振光振幅和垂直于入射平面偏振的反射光振幅比值，以及两束光相位的差值，来确定样品或薄膜光学常数的仪器。 3、测试过程 6.3 薄膜非光学特性检测 附着力测试方法 提高附着力的措施 使用粘合（过渡）层 离子束技术 低能预溅射 离子束辅助蒸发 反应离子注入 离子束混合 1).薄膜应力的类型及起因 2).薄膜的应力表现 3).热应力 热膨胀差异造成的热应力和弯曲半径 4.应力的计算 Stoney公式 对于多层薄膜 5.应力的测试 灵敏度0.05~25MPa 优点 灵敏度：0.2MPa 6.薄膜应力的特点 热蒸发形成的金属薄膜全部呈现张应力，典型值是1GPa； 溅射金属薄膜应力较热蒸发薄膜高2~3倍； 薄膜应力与衬底性质之间没有强的依存关系； 非金属薄膜的应力通常在100~300MPa； 介质薄膜中的应力既可能为张应力也可能是压应力。 胶带剥离法 刮剥法 拉伸法 压痕法 剪切法 薄膜应力的类型：(从起因分） 外应力：包括外界所施加的应力，基片和薄膜的热膨胀不同所导致的应力，薄膜和基片共同受到塑性变形所引起的应力。 内应力：是薄膜的本征应力，是薄膜的内禀性质。它形成的主要原因是薄膜生长中的热收缩、晶格错配或杂质的存在、相变、表面张力等因素。 (热应力 本征应力（生长应力） ) 应力：定义为作用在某材料单位面积上的力，单位为N/m2或Pa。 拉应力（张应力） 压应力 从表现形式上分： 2. 薄膜应力测量 张应力作用下使薄膜收缩 压应力使薄膜向基片内侧卷曲 张应力作用下，薄膜会破裂，破裂时离开基片而跷起。 压应力作用下，薄膜会起皱、起泡和剥离。 薄膜的热应变 热应变和应力的关系 薄膜的弹性模量 薄膜的泊松比 基片的弹性模量 （扬氏模量） 基片的泊松比 1).悬臂梁法 薄膜应力引起的自由端位移 基片长度 薄膜厚度 基片长度 2).圆盘法（干涉法） * * 第*页 第六章 光学薄膜特性测试与分析 光学薄膜技术 Optics Thin Film and Technology 第一节 透射率和反射率测量 第二节 薄膜光学参数测量 第三节 薄膜机械特性(应力、附着力）测量 光学薄膜的类型和符号 6.1 薄膜透射率和反射率的测量 光谱仪 测量波段 紫外-可见近红外分光光度计 红外分光光度计 光谱仪 测量原理 单色仪型分光光度计 干涉型光谱仪 双光路分光光度计测量透射率原理图 L－光源，Ｓ－测试样品，Ｍ－调制板，ＭＣ－单色仪，Ｄ－探测器 1.单色仪型分光光度计 原理：仪器采用双光路测量，其中一束透过测试样品，叫测量光束；另一束不透过测试样品，叫参考光束。一只探测器，交替地对两束光接收并进行比较，获得透射率。再按照单色仪的出射波长进行自动光谱扫描，就可直接记录出透射率随波长变化的光谱透射率曲线。 目前国际上主要分光光度计的性能参数 可以 可以 0.0003 ≤0.048nm(UV-Vis) ≤0.2nm(Nir) 175~3300 Cary5000 美国 Varian 0.001 0.1 190~2500 UV365 岛津 可以 可以 0.0003 0.2 185~3200 U-3501 Hitachi公司 可以 可以 0.0003 0.1 175~2600 U4100 Hitachi公司 可以 可以 0.00008 0.08