纳米薄膜的光学参数及厚度提取方法研究 study on the extraction of optical constants and thickness of nanometer-scale film.pdfVIP

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2017-08-22 发布于上海
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纳米薄膜的光学参数及厚度提取方法研究 study on the extraction of optical constants and thickness of nanometer-scale film.pdf

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纳米薄膜的光学参数及厚度提取方法研究 study on the extraction of optical constants and thickness of nanometer-scale film

第26卷第1期光电子技术 VoI．26No．1 2006年3月 OPTOELECTRONICTECHNOLOGY Mar．2006 纳米薄膜的光学参数及厚度提取方法研究金文豪，徐东，杨莺歌，张亚非 (上海交通大学微纳科学技术研究院，微米／纳米加工技术国家重点实验室，薄膜与微细技术教育部重点实验室，上海，200030) 摘要：采用磁控溅射法在玻璃基底上分别制备了不同厚度的单层TiO。、Au纳米薄膜和双层 TiOz／Au纳米薄膜，并测量了这些薄膜的透射光谱。通过设计计算机程序拟合透射光谱；获取了薄膜的折射率和消光系数随波长的变化曲线以及薄膜的厚度。这种拟合方法是以非线性约束优化理论为基础的，具有透射光谱易测量、计算精度高等特点。关键词：薄膜光学；光学常数；非线性约束优化算法中图分类号：TN65文献标识码：A ontheExtractionof Constantsand Study Optical Thicknessof F．1m Nanometer—scale Wen—hao，XU Ya—fei JIN Dong，YANGYing—ge，ZHANG (StateLab Lab ThinFilm Key forMicrometer／nanometer for ProcessingTechnologyCenter，Key andFine theEducation of of,Micrometer／nanometer Technology Ministry，Institute Technology of ShanghaiJiaotongUniversity，Shanghai，200030，CHN) and thinfilmswere on substrates Abstract：Ti02，AuTi02／Au depositedglass using andextinction transmissionaremeasured．Thecurvesofrefractionindex sputteringsystem．The spectra coefficientwithdifferent andthethicknessoffilmswereobtainedfromtransmission wavelength spectrum． Basedona constrainednonlinear fitmethodhasthecharacteristicsof programmingalgorithm，this high and tOmeasurethetransmission computingprecisioneas