纳米级薄膜厚度的精确测量 accurate determination of thicknesses for nanometer thin films.pdfVIP

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2017-08-22 发布于上海
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纳米级薄膜厚度的精确测量 accurate determination of thicknesses for nanometer thin films.pdf

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纳米级薄膜厚度的精确测量 accurate determination of thicknesses for nanometer thin films

第27卷第1 !些Z塑旦：!Q●—●圆圜豳盔翟翻嗣幽■ 文章编号：1007—1 180(2010)10-0045-05 纳米级薄膜厚度的精确测量张立超 (中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室，吉林长春130033) 摘要：对于纳米级多层膜来说，膜厚的精确测量至关重要。本文针对X射线衍射测量薄膜厚度的方法，对所能够获得的测量精度进行了研究。结果表明，无论是单层膜还是多层膜，实现样品台的精密装调都是获得膜厚精确测量结果的前提条件；而在实现了精密装调的情况下，由于多层膜具有相对较窄的衍射峰，因此能够提取出更为精确的峰位数据，与单层膜相比，能够得到更精确的膜厚；经过合理地选择衍射峰，能够获得优于0．01 nnl的多层膜周期厚度测量精度。关键词：超薄膜层；膜厚；X射线衍射中图分类号：0484．4 文献标识码：A DoI：10．3788／0ME0045 for ThinFfiImS AccurateDeterminationofThicknessesNanometer ZHANGLi—chao Institute Mechanicsand A (StateLaboratoryofAppliedOptics，ChangchunofOptics，Fine Physics,Chinesecademy Key 1 ofSciences，Changchun30033,Ch／na) thicknessesiScriticalfornanometerultra—thinfilms．Inthis Abstract：Accuratedeterminationof埘m paper,we of methodtodeterminefilmthicknesses diffractometer． outtheresearchonthe the CalTy accuracy byusingx-ray 弧eresultsshowthatthefine ofthe isthe to accuratefilm acquire adjustmentproceduresamplestage precondition thicknessforboth and thinfilms．Whenthefine is singlelayer multilayer adjustmentprocedure of more thanthoseof thin virtueoftheirnalTow tIlicknesses thinfilmsale accurate multilayer singlelayer films．by ofdiffractionandthe accurate diffraction shape peaks consequentlypeakpositions．Bychoosing peaksappropriately， the ofbetterthan0．01nnlfor thicknesses