切割机主轴电机技术研究 research on spindle motor of dicing saw.pdfVIP

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2017-08-22 发布于上海
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切割机主轴电机技术研究 research on spindle motor of dicing saw.pdf

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切割机主轴电机技术研究 research on spindle motor of dicing saw

材料制备工艺与设备 ■昌口塾垡哩垡堑坠clr唑幽蜘删蝌团鞫盟勰磊蕊堑整型鱼王茎量塑鱼切割机主轴电机技术研究王兵锋，周建生 (中国电子科技集团公司第四十五研究所，北京101601) 摘要：在半导体封装技术领域，切割机是一种极其重要的封装设备，而电主轴则是切割机非常重要的一个执行部件，所以，对主轴电机技术的研究据有实际意义。介绍了主轴中电机的设计、加工技术。关键词：切割机；电主轴；主轴电机中图分类号：TM343．05 文献标识码：B 文章编号：1004—4507(2011)06—0037-04 Researchon Motorof Saw Spindle Dicing WANG Bingfeng，ZHOUJiansheng 45血ResaerchInstitute (The ofCECT，Beijing101601，Chma) Abstract：h1theareaofsemiconductorseal Sawisonekindof technology，theDicing extremely seal the isa executive inthe importantequipment，andspindleveryimportant componentDicing researchonthe motorhas this Saw，therefore，the spindle veryimportantlypracticalsignificance．In andthemanufactureareintroduced。 methods paper，thedesign processing motor Keywords：DicingSaw；Spindle；Spindle 随着半导体封装技术的发展，对半导体材料异步电机，它的工作原理与一般的异步电机相同，的切割能力也不断提出新的要求。由于划切工序其转速是靠提高供电频率来实现的。在半导体封装领域属于后道工序，如果在划切过程出现问题，那么在此之前的所有工序都将报废， 1．1电机的结构设计所以主轴电机的好坏至关重要。目前，用在电主轴电机的主要尺寸是定子铁芯的内径和有效上的电机分为两种：一种是变频调速的高速异步长度。主轴电机正常运转时，对定转子铁芯的发感应电机，另一种是无刷直流电机。热量的限制非常严格，如果电机的发热量比较大，会使主轴产生热变形，影响设备的切割精度。 1高速异步感应电机定转子铁芯材料都是用厚度为0．2rain的低牌号的冷轧硅钢片，这样可以减小铁芯内部的涡这种电机是