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下一代栅材料-难熔金属 next generation gate material-refractory metal.pdfVIP

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  • 2017-08-22 发布于上海
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下一代栅材料-难熔金属 next generation gate material-refractory metal.pdf

    下一代栅材料-难熔金属 next generation gate material-refractory metal

    第30卷第2期 电子器件 V01．30No．2 2007年4月 alil姻eJou如a10fEIec=tronDE耐c鹊 Apr．2007 Next GenerationGate Met甜’ Material—Refractory ZHo【，H抛√妇，XUQi扰一z玩 lo0029) (h“i￡“把盯MicrDP￡∞￡r伽icso，Ghi埘seA∞d研叫o，Sci栅c∞，上k玎i九g Abstract：Withthe of B scalingtransistor，poly—silicon(poly—Si)gatedepletion，highgate

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