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薄膜无源元件集成技术发展现状
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第30卷第4期 篥 遒瓣参 VoI.3O No.4
2012年 l2月 JlcHENGDlANLUT0NGxUN Dec.2012
薄膜无源元件集成技术的发展现状
汪继芳 孙 涛 王守政
(北方通用电子集团有限公司微电子部 蚌埠 233042)
摘 要 薄膜无源元件集成技术其成本低、可靠性高、环保节能、与半导体工艺兼容,通常能提供优
良的元件精度和功能密度,成为无源元件集成技术发展的主流方向。薄膜集成无
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