超高纯al-0.5%cu合金溅射靶材微观组织与织构的ebsd分析 ebsd analysis of microstructure and texture of ultra-high pure al-0.5%cu alloy sputtering target.pdfVIP

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2017-08-22 发布于上海
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超高纯al-0.5%cu合金溅射靶材微观组织与织构的ebsd分析 ebsd analysis of microstructure and texture of ultra-high pure al-0.5%cu alloy sputtering target

第29卷第l期电子显微学报 Vol-29．No．1 20lO年2月 of 20lO旬2 JoumalChin鹳eElectron MicroscopySociety 文章编号：1000-628l(20lO)OlJ0089J04 超高纯A1．O．5％Cu合金溅射靶材微观组织与织构的EBSD分析黄光杰，陈江波，黄天林，邹彬 (重庆大学材料科学与工程学院，重庆400044) 差进行了表征，分析了舍金靶材多向冷轧、退火过程中微观组织、织构及取向差等的演变规律。关键词：EBsD；溅射靶材；织构；再结晶中图分类号：TM26；07l；TGll5．2l+5．3；TGll5．23；TGll3文献标识码：A

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