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bst薄膜的磁增强反应离子刻蚀研究 study on magnetically enhanced reactive ion etching of bst thin films.pdfVIP

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  • 2017-08-22 发布于上海
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bst薄膜的磁增强反应离子刻蚀研究 study on magnetically enhanced reactive ion etching of bst thin films.pdf

    bst薄膜的磁增强反应离子刻蚀研究 study on magnetically enhanced reactive ion etching of bst thin films

    第 期 电 子 元 件 与 材 料 4 Vol.25 No.4 年 月 ELECTRONIC COMPONENTS MATERIALS 2006 4 Apr. 2006 研究与试制研究与试制 研究与试制研究与试制 R D BST 薄膜的磁增强反应离子刻蚀研究 张柏顺 全祖赐 郭 涛 章天金 摘要:CF /Ar CF /Ar/O (MERIE)sol-gel BST

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