传感器课件刘笃仁版第3章 应变传感器.pptVIP

第3章 应变传感器 应变传感器用于测量某些力学量。力学量总体来讲可包括以下三大类： (1)几何学量：包括位移、形变、长度、距离、位置、尺寸(长、宽、高)、厚度、深度等具有长度量纲的量以及角度、角位移等具有角度量纲的量。 (2)运动学量：包括速度、加速度、角加速度，它们是几何学量的时间函数， (3)通常所指的力学量：指力、力矩、应力、压力、拉力、质量等狭义的力学量。 这些物理量的测量都与机械应力有关，所以把测量这些物理量的器件称为力学量传感器、力敏传感器或应变传感器。 本章介绍的应变传感器是一类电阻值随着力、压力、拉力、质量等被测物理量变化而变化的传感器。 实际测量中，压力测量最多，压力的单位种类也较多。在国际单位制中，压力以帕(Pa)为单位，1 Pa＝1 N／m2。按照习惯，人们也使用kg·F/cm2等单位，这些单位之间的换算关系可参考本书附录“国际单位制(SI)的主要单位及其换算”。 3.1 电阻应变式传感器 电阻应变式传感器是应用广泛的传感器之一。将电阻应变片(也称应变片或应变计)粘贴到各种弹性敏感元件上，可构成测量位移、加速度、力、力矩、压力等各种参数的电阻应变式传感器。 电阻应变式传感器具有结构简单，使用方便，性能稳定、可靠，易于实现测试过程自动化和多点同步测量、远距测量和遥测，灵敏度高，测量速度快，适合静态、动态测量，可以测量多种物理量等诸多优点，已广泛应用于航空、机械、电力、化工、建筑等领域。 3.1.1 应变片的结构和类型 电阻应变式传感器的核心元件是电阻应变片，其工作原理是基于电阻应变效应。 一、应变片的结构和类型 1、敏感珊（应变转换元件） ①丝式： 4.粘结剂 作用：将敏感栅固定于基片上，并将盖片与基底粘结在 一起；使用时，用粘结剂将应变片粘贴在试件的某一方向 和位置，以便感受试件的应变。 粘结剂材料：有机和无机两大类。 粘贴工艺：应变片静放于试件上，粘贴牢固可靠。 2. 电阻应变片的分类 电阻应变片的分类方法很多，常用的方法是按照制造应变片时所用的材料、工作温度范围以及用途不同来进行分类。 （1）按应变片敏感栅的材料分类，可将应变片分成金属应变片和半导体应变片两大类。其中金属应变片又分为体型（箔式、丝式）和薄膜型；半导体应变片又分为体型、薄膜型、扩散型、PN结型及其它型。 （2）按应变片的工作温度分类可分为常温应变片（-30～60 ℃）、中温应变片（60～300 ℃）、高温应变片（300 ℃以上）和低温应变片（低于-30 ℃）等。 （3）按应变片的用途分类可分为一般用途应变片和特殊用途应变片（水下、疲劳寿命、抗磁感应、裂缝扩展等)。 3.1.2 常用的应变片 1)丝式应变片 丝式应变片的基底材料可分为纸基、胶基、纸浸胶基和金属基等。丝式应变片的电阻丝直径为0.02~0.05 mm，常用的为0.025 mm；电流安全允许值为10~12 mA和40~50mA；电阻值一般应在50~1000Ω范围内，常用的为120 Ω；引出线使用直径为0.15~0.30 mm的镀银或镀锡铜带或铜丝。 2)箔式应变片 箔式应变片的敏感栅是通过光刻、腐蚀等工艺制成的；其箔栅厚度一般为0.003~0.01 mm；箔金属材料为康铜或合金(卡玛合金、镍镕锰硅合金等)；基底可用环氧树脂、酚醛或酚醛树脂等制成。 箔式应变片有较多优点，可根据需要制成任意形状的敏感栅；表面积大，散热性能好，允许通过比较大的电流；蠕变小，疲劳寿命高；便于成批生产且生产效率比较高。 3)半导体应变片 半导体应变片是利用半导体的压阻效应制成的一种转换元件。它与金属丝式应变片和箔式应变片比较，具有灵敏系数高(比金属应变片的灵敏系数大50~100倍)、机械滞后小、体积小以及耗电量少等优点。 缺点：半导体应变片的电阻温度系数大，非线性也大。这些缺点不同程度地制约了它的应用展。不过，随着近年来半导体集成电路工艺的迅速发展，相继出现了扩散型、外延型和膜型半导体应变片，使其缺陷得到了一些改善。 4)金属薄膜应变片 金属薄膜应变片是采用真空溅射或真空沉积的方法制成的。它可以将产生应变的金属或合金直接沉积在弹性元件上而不用粘合剂，这样应变片的滞后和蠕变均很小，灵敏度高。 5)高温及低温应变片 按工作温度来分类的高、低温应变片，其性能取决于应变片的应变电阻合金