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2_氨基_5_巯基_1_3_4_噻二唑缓蚀剂结构的密度泛函计算
第 14 卷第 2 期 中国有色金属学报 2004 年 2 月
Vol. 14 No. 2 The Chinese Journal of Nonferrous Metals Feb. 2004
文章编号 : 1004 0609 (2004) 02 0291 07
2氨基5巯基1 , 3 , 4噻二唑缓蚀剂
结构的密度泛函计算①
1 1 1 1 1 , 2
宋晓岚 , 邱冠周 , 王海波 , 吴雪兰 , 曲选辉
( 1. 中南大学 资源加工与生物工程学院, 长沙 410083 ;
2. 北京科技大学 材料科学与工程学院 , 北京 100083)
( ) ( )
摘 要 : 采用密度泛函量子化学计算方法 , 获得了在 B3L YP/ 6311 + + G 2d 5D , 7F 理论水平上 2氨基5巯
( )
基1 , 3 , 4噻二唑 简称 AM T 4 种互变异构体的平衡几何构型、能量和电荷分布 , 证实了 4 种互变异构体的所有
原子处于同一平面 , 且有一种异构体最稳定。研究结果表明 : AM T 4 种异构体中的环骨架具有芳香性 , AM Tc 与
( )
Cu 形成的缓蚀膜层是 Cu Ⅰ与 AM Tc 中的7N 和 2S 原子分别形成共价键和配位键相互交错而成。计算了 AM T
4 种异构体的谐振频率和红外光谱强度。
关键词 : CMP 抛光液 ; AM T ; 缓蚀剂 ; 密度泛函计算 ; 从头计算
中图分类号: O 641. 12 + 1 ; TN 305. 2 文献标识码 : A
Density function theory calculation on structure of
2aminino5mercato1 , 3 , 4thiadizole inhibitor
1 1 1 1 2
SON G Xiaolan , Q IU Guanzhou , WAN G Haibo , WU Xuelan , QU Xuanhui
( 1. School of Mineral Processing and Bioengineering ,
Central South University , Changsha 410083 , China ;
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