微空心阴极放电的MonteCarlo模拟研究.PDFVIP

第 卷 第 期 年 月 物 理 学 报 9% ; %## ; ， ， ， ,/5 89% / 8; TL02 %## （ ） ###B%P#Q%##Q9% #; Q !9#B#9 (-)( D6R@S-( @SS-( !%## -HF0 8 DHUG 8 @/E 8 $$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$ 微空心阴极放电的!#$% ’() 模拟研究! 姚细林 王新兵 赖建军 （华中科技大学激光技术国家重点实验室，武汉 !##$! ） （ 年 月 日收到； 年 月 日收到修改稿） %##% ! %$ %##% 基于 与 混合语言，采用 模拟对高气压下亚毫米级微空心阴极放电（ ）中电子 ’()*(+ ,- . . ’/012 -345/ ’6-7 的运动过程进行了研究，计算出不同气压下的稳态时场向电子密度分布，电子能量分布以及对各种碰撞的统计等8 分析表明：高气压下微空心阴极放电更能反映空心阴极效应———“来回振荡”的本质 通过模拟得到，电子在阴极间 8 来回振荡的过程中，仍以前向散射为主 随着气压的升高，侧向散射效应逐渐体现出来 8 8 关键词：微空心阴极， ，负辉区，碰撞截面 ’/012 -345/ ： ， ， *+ 9%:# 9%;9 9%99 距为 的微槽模型进行模拟 在我们的分析 # CC 8 引 言 中，仍然认为电场是一维的，但基于本模型的特点， 考虑了二次及高次电离， 原子更高能级的激发和 (4 高气压下辉光放电技术广泛应用于电磁波的吸 层电离的情况 同时，还考虑了碰撞时的散射角， ! 8 收，表面处理，薄膜沉积，平板等离子体显示器，新型 初始电子的能量和发射角情况，积分步长等因素8 模 气体激光器以及准分子紫外光源等领域中 近年来， 拟结果显示：高气压下 ’6-7 有着新的微观特性， 8