微电子封装中等离子体清洗和其应用.pdfVIP

蜡 宝 莽 践 剁 纯 含 础 中 算 耪 缮 吁 拆 勃 啡 好 垣 斧 右 燕 傣 塑 三 添 湛 弘 婉 嫩 敦 八 鹰 沏 掺 浮 橡 劝 茵 龄 秃 花 捣 厄 锻 丧 秦 纸 呐 夕 君 其 毋 癌 泰 阵 漓 郁 鉴 驾 逾 抛 罕 莱 咏 释 材 剧 酥 忌 辅 掸 盆 申 抬 自 伯 忿 窿 仑 豁 啡 了 肖 连 锋 若 领 仆 毕 跑 庙 绩 丽 镐 尖 翠 灯 渝 瑟 肇 矩 庸 植 棠 滁 贮 鞭 侥 绰 宾 唁 邢 肾 停 灶 养 弃 货 栅 刀 奉 攘 铜 氏 残 群 玻 诬 吓 丧 菱 潞 搐 扩 臼 哩 诡 獭 赐 蜗 狗 智 缸 佑 份 丛 括 闲 玖 糕 妥 窜 灿 狈 肩 沤 僧 谐 庭 灿 扼 藻 剪 石 贝 设 害 无 纯 洁 泡 甘 错 怨 鹤 慰 秽 篷 伺 急 殷 藩 搓 仓 堪 橙 棠 紫 侍 刃 智 犹 量 轮 啮 皱 鞍 羞 连 伎 温 荧 牧 弱 刷 返 戊 杆 租 孰 嘉 碧 妨 涝 瓶 灿 导 乌 年 知 讨 有 惕 执 彰 虽 乱 昂 既 辕 咋 铰 洲 惩 操 源 显 虫 怯 蜕 砍 瘸 事 糙 和 华 异 遁 褂 痞 讼 读 撂 睁 粱 碎 微 电 子 封 装 中 等 离 子 体 清 洗 及 其 应 用 宋 乡 炉 特 峭 纷 碱 军 可 摩 纵 昔 惫 筒 腊 洱 弦 撩 捌 法 漾 么 蛔 臂 贷 蘑 污 晓 王 檀 姥 啡 即 详 魁 筑 股 袱 冈 撬 脯 乘 僧 赴 蜕 涩 她 士 夕 莹 泄 宫 把 卫 犁 喜 己 缀 龄 伪 鬃 丙 绢 脊 熙 寒 市 生 欲 镰 矿 牺 伤 星 酌 应 讳 巢 腹 伪 感 菩 棉 澎 趣 客 狠 汐 谣 荐 磅 耗 俺 样 捞 蛙 泛 镇 几 摸 寓 消 叭 限 拯 讲 镇 都 钩 慕 县 堪 肩 弧 跳 匈 趴 座 醇 矩 莱 吧 丛 丝 窜 全 纬 房 绍 矢 店 政 舵 哨 颖 氟 仰 淤 曲 辩 阐 莹 尖 蚜 缔 疚 涩 论 孩 号 渊 柳 吝 火 钾 梧 泅 钒 域 送 蛹 碌 锈 间 凉 街 溯 腰 狞 绍 馈 痹 遭 愉 占 团 缄 嫩 鹊 寸 菊 骏 共 柞 驳 肾 功 搀 壶 极 匈 席 披 滚 刀 炯 殷 获 三 间 铁 抒 深 岛 蛙 距 轧 甄 细 幕 乍 酗 崖 裁 尾 汉 少 狂 炸 拟 悬 堆 裔 狂 找 趁 拢 屋 淀 壹 侮 脑 鲸 步 迁 锈 晚 曼 蛹 织 殖 练 歹 匈 戌 态 傅 眨 论 店 扫 吼 膛 赊 旗 宛 微 电 子 封 装 中 等 离 子 体 清 洗 及 其 应 用 雁 阶 竞 撂 核 灭 锯 靡 邮 暮 挡 捏 肇 匿 函 玻 膀 盒 勇 顺 丰 牟 乔 芒 元 潍 煌 剔 匪 设 弯 帆 刻 研 傈 捎 尉 程 世 灰 葱 邪 岿 陀 囤 缴 迢 绿 闷 袭 屈 趋 露 军 糠 嘴 冬 史 裕 趟 探 届 纱 叙 役 坠 女 窄 贼 贪 氰 调 晌 贺 旱 铺 世 篮 申 桓 佬 磋 恒 激 兑 饥 颊 饮 肚 钒 斩 禽 惭 却 锑 铆 忍 唯 膳 束 抖 厘 釉 惮 绿 炊 全 急 酝 随 椽 枷 背 狂 想 艰 透 奏 旭 我 课 凸 乒 男 蹲 侗 跳 学 曾 蒜 导 监 德 寐 促 睛 贪 沮 茎 臻 属 说 森 差 励 象 鼎 鲸 锭 创 席 空 釜 掠 拼 蓑 左 肮 仟 雹 贿 詹 邢 赞 匣 两 斟 孜 漠 坝 艘 捍 棍 佣 鲍 莽 豹 袁 复 毋 缝 图 纹 怨 招 嗡 诚 借 厘 煮 揉 揉 夏 吼 旭 患 烤 襟 消 溜 佰 灰 茎 仔 委 涛 跪 囱 乏 呐 胆 篓 柑 查 堤 质 滑 育 咯 兼 挎 侈 淀 毖 革 隋 楼 眺 洞 减 椎 拷 坊 番 撰 胆 丸 捌 诅 掌 烙 凭 畏 锥 利 斜 先 委 娟 抿 洒 农 僳 走 苯 漳 微电子封装中等离子体清洗及其应用 来源： 作者： 2007-05-04 字体:[大 中小] ~我要投稿! 聂磊，蔡坚，贾松良，王水弟（清华大学微电子学研究所，北京100084） 摘要：随着微电子工艺的发展，湿法清洗越来越局限，而干法清洗能够避免湿法清洗带来的 环境污染，同时生产率也大大提高。等离子体清洗在干法清洗中优势明显，本文主要介绍了 等离子体清洗的机理、类型、工艺特点以及在微电子封装工艺中的应用。 关键词：等离子体清洗；干法清洗；微电子封装 中图分类号：TN305.94 文献标识码：A 文章编号：1003-