一种容易实现的硅片分类机 a wafer soter which can be easily realized.pdfVIP

圭曼堡型遣三茎皇堡鱼塑星臣蚕氢玉美墨秦墼蚕基团 一种容易实现的硅片分类机 刘玲玲 (北京中联科利技术股份有限公司北京100012) 摘 要：本着实现半导体硅片分类机全部自主知识产权的目的，这里介绍一种关键零部件国内 设计、制造的2n0 mm(8英寸)以上的半导体硅片分类机。本分类机用紧凑的结构(包括单个机械 手和两套硅片标识识别装置)，采用了较好的图像处理软件和可靠的字符标识识别软件，实现了 制造成本低、识别成功率高、可靠性好、便于实现的结果。介绍了分类机的试验样机经过试验，已 经证明了其主要功能的有效性。因此，此分类机具有产品化可能。 关键词：机械手；硅片传输；硅片缺口对准；标识识别 中图分类号：TN305 文献标识码：B AWafer Soterwhichcanbe Realized Easily