特种气体用阀门及配套件.pdfVIP

VALVE DESIGN QQ群号 　　　　　　　　　　　　　　　　　阀　　　门　　　　　　　　　　　　1998 年第 4 期 — 32 — 特 种 气 体 用 阀 门 及 配 套 件 ( ) 光明化工研究设计院 大连 　116031 　蒋仲先 1 　问题提出 般从真空度 133 ×10 - 1 Pa 到高压 16M Pa 。④ 具有各种特殊性能要求的气体 , 如 电子 洁净度高 。对阀门结构 、粗糙度 、组装 、试验 气 、石油化工气和标准气等在国民经济各个行 及清洗工艺等提出了特殊要求 , 有的需在超净 业有着广泛的用途 , 这些气体的开发研制是确 间内组装 、试验和包装 。⑤死区尽量小 。减少 保和推进高科技发展的重要组成部分 。以集成 痕气 , 便于净化 。⑥耐腐蚀抗吸附能力强 。为 电路用气 ( 电子气) 为例 , 目前国际上集成度 此必需选材合理 , 有的要进行电化学抛光及内 已达 256 K ( 1K 表示 1cm2 上有 1000 个电子元 壁喷涂工艺 。⑦能满足遥控及 自动化操作要 ) μ 件 , 尘埃最大允许直径为 01 m , 颗粒量小 求 。这对有毒 、易燃 、易爆及放射性气体是十 于 1 颗/ l 。要达到此标准 , 首先必须确保电子 分必要的。⑧品种配套齐全 。系列化 、标准化 气纯度在此标准以下 , 这就对生产和使用气体 及专用化程度高 。 的装置 、设备 、控制元件 、输送管道及包装容 3 　主要开发产品及其用途 器等一系列配套件提出了相应的要求 , 阀门是 特气阀及配套件需要开发的产品可按用途 首先要解决的问题之一 。在全国性各类有关专 分类 。 业会议上 , 电子工业方面的专家对特气阀及配 ①切断阀　主要品种有隔膜式气瓶阀、隔 套件的开发研制给予了高度重视和殷切的期 膜式和波纹管式截止阀及隔膜式按钮切换阀。 望 。然而到目前为止 , 全国还没有一家特气阀 ②节流阀　用于流量的调节和控制 。有填 专业厂 。外商只是向中国卖产品 , 并在中国设 料式及波纹管式两种结构 。主要难点在微流量 有多处代理商 , 对合资建厂等 问题却避而不 控制 。目前国外已实现了 1ml/ h 气体的精确 谈 。根据国内市场的需要 , 急待开发占领这一 控制 。国内虽有类似产品 , 但缺少试验依据 。 新的领域 , 其社会经济效益是可观的。 ③调节器 　主要用于压力及流量的调节和 2 　特气阀及配套件的特点及主要技术要求 自控 。如金属隔膜式减压器 , 其作用在于确保 特气阀及配套件的特点与气体的特性密切 出口压力的恒定 。流量控制阀作用在于确保出 相关 。特种气体常常要求 ①纯度高 。目前国内 口流量的恒定 。流量限制阀的作用在于确保管 单元气一般要求 4N ( 气体纯度为 9999 %) 路流量超过给定值时自动关闭。 ～5N ( 气体纯度为 99999 %) , 有 的达 6N , ④止回阀　用于防止介质逆流 , 特气系统 国外还有达 7N 的。②洁净度高 。以电子气为 中常用弹簧式 。 例 , 目前国内 64 K 集成度 已试制成功 , 国外 ⑤安全阀